판매용 중고 KLA / TENCOR ASET F5x #9361861
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판매
ID: 9361861
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2001
Film thickness measurement system, 12"
Insert type: Conversion, 8"
Data transfer: Floppy Disk Drive (FDD) / DVD R/W
Operation: Mouse and keyboard
Emergency button cover: Recessed type
Door interlock
Recipe auto backup
Auto data deletion
Auto error log file save and classification
Queued loading (Queue recipe)
Operating system: Windows XP
Spectroscopic ellipsometer
Spectrometer
Wavelength of light source: 220~800 nm
Spot size for thickness and RI: < 40μm
Spot size for reflectivity: < 40μm
Mapping function: 2D and 3D
Pattern recognition
Recipe copy with film library
SE and DBS Optics
Optic lens: 1x, 2x, 4x, 15x
Pattern score: FA
Location screen: Visualize on one screen
Pattern recognition image / Measurement site save
Spectrum save function (Save all at once)
Spectrum save and auto deletion
Recipe / Library import: On-time intromit at TCP/IP
AMHS
Signal tower
Wafer breakage
Options:
GEM SEMI E30-98
SECSⅡ SEMI E5-93
Recipe generator
Remote access capability
Light tower
Carrier ID, 12"
Safety shield, 12"
Light tower
HSMS Communication
Recipe generator
S3 Handler
Controller:
CPU: Pentium 4 3.0 GHz
Memory: 1.024 G Byte DRAM
(2) Hard Disk Drives (HDD): 80 GB missing
2001 vintage.
KLA/TENCOR ASET F5x는 반도체 제조 산업에 높은 처리량, 높은 신뢰성 데이터를 제공하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템을 사용하면 유전체 특성, 재료 구성, 재료 균일성 (material composition) 을 포함한 웨이퍼 특성을 최소한의 수동 개입으로 신속하게 평가할 수 있습니다. KLA ASET-F5X 모델은 인라인 도량형 또는 전기 테스트의 일환으로 다양한 테스트 구조에서 샘플의 유전체 누출 전류, 저항 및 정전량을 빠르고 정확하게 감지하고 측정하도록 설계되었습니다. 이 장치는 99.99% 이상의 초과 지불 거부율로 빠르고 신뢰할 수있는 측정을 제공합니다. 강력한 온보드 (on-board) 프로세서는 측정 데이터를 관리하며 사용자는 사전 설정된 라이브러리의 일부로 여러 테스트 일정 및 절차를 저장할 수 있습니다. 이 장치는 컴팩트 벤치탑 (Compact Benchtop) 설계로 구성되어 기존 반도체 제조 어셈블리 라인에 통합하기에 적합합니다. 이 기계는 고해상도, 방사형 레이저 정렬 도구, 프로그래밍 가능한 진동 격리 플랫폼 및 효율적인 웨이퍼 포지셔닝을위한 4 륜 전동 스핀들 테이블을 갖추고 있습니다. 이를 통해 정밀하고 반복 가능한 샘플 포지셔닝 및 정렬 (alignment) 을 통해 에셋 주위의 샘플을 이동하는 데 소요되는 시간을 줄일 수 있습니다. TENCOR ASET F 5 X는 고성능 기능 외에도 안전 기능도 갖추고 있습니다. 이 모델은 운영자와 장비 하드웨어의 안전을 보장하기 위해 완전한 과전압 보호 (Overvoltage Protection), 로컬 인터 록 (Local Interlock) 및 단락 회로 보호 (Short Circuit Protection) 를 제공합니다. 또한 모바일 비상 정지 장치 (Emergency Stop Unit) 와 단일 포인트 연결을위한 통합 전원 공급 장치가 함께 제공됩니다. KLA/TENCOR ASET-F5X는 고속, 신뢰성, 정확한 웨이퍼 테스트 및 도량형이 필요한 사용자에게 이상적인 선택입니다. 업계 최고의 안전 (Safety) 기능과 더불어 탁월한 처리량과 반복성을 제공하여 반도체 제조 설비 (Manufacturing Facility) 를 통해 업무 효율성을 높일 수 있습니다.
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