판매용 중고 KLA / TENCOR ASET F5x #9291766

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ID: 9291766
웨이퍼 크기: 8"-12"
빈티지: 2001
Film thickness measurement system, 8"-12" 2001 vintage.
KLA/TENCOR ASET F5x는 사용자가 안정적이고, 정밀하며, 매우 빠른 결과를 얻을 수 있도록 특별히 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 단일 통합 시스템 내에서 표면 테스트 (Surface Testing) 및 광 검사 (Optical Inspection) 기능을 조합하여 제공합니다. 장치의 중심에는 고급 KLA ASET-F5X 광학 머신 (Optical Machine) 이 있으며, 이를 통해 대상 표면의 최고 수준의 이미지를 높은 정밀도로 얻을 수 있습니다. 이 도구는 고급 광 요소 (advanced optical element) 의 조합을 사용하여 피쳐를 감지하고 구별하며, 다양한 기능을 통해 다양한 웨이퍼 (wafer) 응용 프로그램을 지원합니다. 이 에셋에는 고밀도 모션 모델 (high-precision motion model) 이 장착되어 있어 대상 웨이퍼를 정확하고 반복적으로 포지셔닝할 수 있습니다. 이 모션 장비 (motion equipment) 는 정확한 속도와 반복성으로 웨이퍼 표면을 정확하게 스캔하고 프로브 할 수 있습니다. 따라서 스캔 결과는 항상 일관되고 신뢰할 수 있습니다. 또한 TENCOR ASET F 5 X 는 다양한 도량형 데이터를 제공하여 타겟 웨이퍼 (Target Wafer) 의 품질과 무결성을 평가할 수 있습니다. 여기에는 입자 계산, 패턴 인식, 표면 거칠기, 초점, 프로파일, 자동 초점 및 모양 측정과 같은 광학 도량형 데이터가 포함됩니다. 또한, 시스템은 사용자에게 스트레스 (stress) 및 미세 변형 측정 (micro-strain measurement) 과 같은 재료 특성을 수행하는 데 필요한 정보를 제공 할 수 있습니다. 마지막으로, KLA/TENCOR ASET F 5 X 장치는 다양한 입자 감지 및 청결 테스트를 수행하여 웨이퍼에 유해한 입자가 없도록 할 수 있습니다. 이렇게 하면 웨이퍼가 필요한 안전 또는 품질 표준을 충족할 수 있습니다. KLA ASET F 5 X는 빠르고 안정적인 결과를 제공하는 일체형 웨이퍼 테스트 및 도량형 솔루션입니다. 이 시스템은 광학 및 도량형 테스트 (optical and metrology test) 의 정확하고 상세한 결과를 사용자에게 제공할 수 있으며, 웨이퍼의 무결성을 결정하는 데 사용되는 정보를 제공합니다. 또한, 이 도구는 고정밀 (high-precision) 모션 에셋을 갖추고 있으며, 다양한 입자 감지 및 청소 테스트를 수행하여 웨이퍼에 원치 않는 입자가 없도록 할 수 있습니다.
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