판매용 중고 KLA / TENCOR ASET F5x #9254566

ID: 9254566
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2001
Film thickness measurement system, 8" Cassette interface: Open handler with (2) open cassette stations PRI / EQUIPE Wafer handling robot with dual end actuator BROOKS PRE-300B-CE Pre aligner Main tool: Spectroscopic Ellipsometer (SE) Xe Xenon light source D2 Lamp Controller type: PC Computer Floppy drive: 3.5" (1.44 MB) Castle wood drive: 2.2 GB Color VGA monitor Keyboard / Trackball Facility requirements: CDA Vacuum Power supply: 208 VAC, 8.5 A, Single phase, 3-Wire, 50/60 Hz CE Marked 2001 vintage.
KLA/TENCOR ASET F5x는 도량형 및 결함 검토 응용 프로그램을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 최신 및 최첨단 탐지 시스템을 사용하면 심각한 결함 감지 성능이 향상됩니다. 이 장치는 포괄적인 결함 감지 (Firect Detection) 및 향상된 수율에 대한 중요하고 복잡한 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 또한 광범위한 자동 웨이퍼 테스트 (Automated Wafer Test), 도량형 및 결함 검토 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 기계는 순차적 스캐닝 (scanning) 기술을 탑재하고 결함 검사 및 튜닝 도구와 원활하게 통합됩니다. 통합 기술은 프로세스 성능을 향상시키고 처리 시간을 단축하는 데 도움이 됩니다. 통합 AOS (Active Optical Sensor) 를 통해 가장 까다로운 결함 기능을 캡처할 수 있으며, 해상도가 상당히 높고 처리량이 대안보다 빠릅니다. KLA ASET-F5X는 기존 및 계획된 KLA/TECON 이미징 시스템의 소프트웨어 기능을 향상시키기 위해 설계되었습니다. 또한 기존 장비와 완벽하게 통합되어 자동 패키지 분석기, 패키지 응력 측정, 사진 이미지 처리, 재생, 다양한 고급 슬롯 작업 (slotting operation) 을 제공합니다. 웨이퍼 및 포토 esist 검사를위한 자동 광학 검사 도구가 제공됩니다. 광범위한 광 미디어/서브시스템에 접속할 수 있도록 설계되었습니다. 따라서 사용자는 현재/향후 테스트/도량형 프로세스를 구성, 사용자 지정, 자동화할 수 있습니다. 이 자산은 또한 TENCOR 실시간 프로세스 모니터링, KLA/TENCOR 자동 초점, KLA 흐름 기반 결함 감지 등을 포함한 여러 소프트웨어 도구를 지원합니다. TENCOR ASET F 5 X 모델은 테스트, 도량형 및 결함 검토 애플리케이션을 위한 완벽한 솔루션을 제공합니다. 고급 감지 기술 (Advanced Detection Technology) 과 고속 처리 속도를 갖춘 이 장비는 고급 도량형 (High-End Metrology) 및 결함 검토 어플리케이션을 위해 설계되었습니다. 광범위한 자동 웨이퍼 테스트, 도량형 및 결함 검토 기능을 제공합니다. 이 시스템은 현재 및 향후 모든 세대의 이미징, 검사, 도량형 시스템과 작동하도록 설계되었습니다. 즉, 심각한 결함 감지 성능을 높이고 처리 시간을 단축할 수 있도록 설계되었습니다.
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