판매용 중고 KLA / TENCOR ASET F5x #9240202

KLA / TENCOR ASET F5x
ID: 9240202
웨이퍼 크기: 8"
Film thickness measurement system, 8" Open cassette, 8" Spectroscopic ellipsometer Dual-beam spectrometer (DBS) Xenon light source: Wavelength range 220 nm to 800 nm DBS Spot sizes: 2.7 um, 10 um, 40 um Pattern recognition (PatMax) 2.8-GHz Pentium-IV Star bright computer Hard drive: 80-Gb IDE DDR RAM: 512-Mb Ethernet PCIA card: 10 Base-T and 10 Base-100 communications protocol Operating system: Windows XP Flat-panel display: 17-inch color LCD Keyboard and trackball DVD / RW Drive and Floppy disk drive, 3.5" DVDR / RW Blank diskette Start-up kit Modular wafer handler With dual open cassette back of cabinet Standard SE Pattern recognition patmax Platen single finger, 200 / 300 P4 Computer, 2.8 GHz PCA, Matrox orion, Frame Grab, PCI 220 V, 50/60 Hz.
KLA/TENCOR ASET F5x는 반도체 산업을 위해 특별히 설계된 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 와퍼의 정확하고 안정적인 측정, 처리 및 특성을 제공하는 다양한 기능을 제공합니다. 이 시스템은 모듈식 웨이퍼 스테이션, 웨이퍼 핸들러, 데스크탑 프로세서 및 디스플레이로 구성됩니다. KLA ASET-F5X의 웨이퍼 스테이션 (Wafer Station) 은 레시피를 처리하는 것이 높은 자동 웨이퍼 처리 장치입니다. 여러 개 의 "웨이퍼 '크기 를 처리 하도록 설계 되어 있어서, 여러 가지 생산 과정 에 쉽게 적응 할 수 있다. 컴퓨터를 원격으로 액세스할 수도 있으므로, 원격 프로세스 제어에 이상적입니다. 독특한 waferhandler 기능을 사용하면 웨이퍼를 빠르게 로드하고 언로드할 수 있습니다. 이를 통해 도구가 빠르게 작동하여 처리량과 정확도를 극대화할 수 있습니다. 또한 이 기능을 사용하면 광범위한 자동/수동 웨이퍼 (automated/manual wafer) 처리 옵션 중에서 선택할 수 있습니다. 또한, 에셋은 최대 6mm 두께의 웨이퍼 서피스에서 데이터를 수집 할 수 있습니다. 데스크탑 프로세서는 사용자에게 직관적인 인터페이스 (interface) 와 처리 능력을 제공하여 수집된 데이터를 분석합니다. 이 프로세서에는 데이터 관리를 위한 친환경적이고 사용하기 쉬운 환경을 제공하는 온보드 GUI (Graphical User Interface) 가 포함되어 있습니다. 데이터 획득 및 데이터 분석 기능을 위한 통합 모듈식 (modular) 아키텍처는 하이엔드 신호 처리 기술을 활용하여 고정밀 웨이퍼 (wafer) 분석을 달성합니다. TENCOR ASET F 5 X 디스플레이는 사용자에게 넓은 시야를 제공합니다. 이렇게 하면 프로세스 측정을 실시간으로 표시하여 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 (metrology) 프로세스를 신속하게 모니터링할 수 있습니다. 이 디스플레이에는 터치스크린 (Touchscreen) 기능 (옵션) 도 포함되어 있어 모델의 메뉴 및 설정과 상호 작용할 때 더 많은 제어 및 유연성이 제공됩니다. TENCOR ASET F5x는 정밀도 및 성능과 사용 편의성을 결합한 종합적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 모듈식 아키텍처, 사용 편이성, 다양한 웨이퍼 처리 기능을 갖춘 ASET F5x 는 반도체 생산 프로세스에 매우 적합한 제품입니다.
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