판매용 중고 KLA / TENCOR ASET F5x #9232878
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ID: 9232878
웨이퍼 크기: 8"
Film thickness measurement system, 8"
Dual cassette open handler
Wafer handling, 6"
Wafer handling with handler charge, 12"
Spectroscopic ellipsometer
Pattern recognition
Operating system: Windows XP
Computer: Pentium 1.25 GHz
SCSI Hard drive: 80 GB
DRAM: 1 GB
Flat panel LCD display
Keyboard & trackball
Multi layer film capacity
Micro spot optics
Scanning stage
Wafer mapping
In-situ capability
Controller type: PC / VME
Operator manual
DBS Spot sizes: 2.7, 10, 40 um
XENON Light source
Wavelength range: 220 nm to 800 nm.
KLA/TENCOR ASET F5x는 반도체, 메모리, 데이터 스토리지, 광전자, 디스플레이 및 포토 마스크 산업을 포함한 광범위한 산업에서 고급 프로세스 제어를 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 웨이퍼 테스트 및 도량형에 대한 고정밀도 및 반복 기능을 제공하여 자동화된 결함 검사 및 분석을 가능하게 합니다. F5x 장치는 광학 초점/디포커스, 표면 거칠기, 스펙트럼 반사율, CD/너비, 오버레이, 불투명 마스크 결함, 에칭 단계 높이 및 재료 분석을 포함하여 360 ° 비접촉, 시각 기반 도량형 및 테스트 솔루션을 통합합니다. 고급 디지털 광학, 정밀 광학, 모션 보드, 빔 콤비너, 패턴 인식 기술 및 이미지 분석 기술을 사용하여 샘플 웨이퍼의 정확한 분석을 용이하게합니다. 또한이 기계에는 최신 SPCS (Semiconductor Production Control Tool) 및 X-Ray 기술이 장착되어 있으며, 정확한 실시간 측정 및 제어 기능과 완전하게 자동화된 패턴 인식 및 오류 수정 메커니즘을 제공합니다. 이것은 결함 감지를 최대화하고 잘못된 경보를 최소화하는 데 도움이됩니다. KLA ASET-F5X는 고속, 반복성, 낮은 소유 비용 등 대용량 웨이퍼 테스트 및 도량형에 적합합니다. 직관적인 사용자 인터페이스는 운영 요구 사항을 충족하도록 맞춤식으로 조정할 수 있으며, 영어, 일본어, 한국어, 중국어, 독일어 등 다양한 언어를 지원합니다. 이 자산의 동급 최고 성능과 견고성은 다양한 도량형 애플리케이션 (Metrology Application) 및 품질 관리 (Quality Control) 요구를 지원하는 것으로 입증되었습니다. 이를 통해 고객은 최고 수준의 프로세스 제어 (Process Control), 제품의 품질 보장, 안정적인 운영 환경 제공 등을 유지할 수 있습니다.
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