판매용 중고 KLA / TENCOR ASET F5x #9229841
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ID: 9229841
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2003
Thin film measurement system, 12"
Dual cassette open handler
Wafer handling, 6"
Wafer handling with handler charge, 12"
Spectroscopic ellipsometer
Pattern recognition
Operating system: Windows XP
Computer: Pentium 1.25 GHz
SCSI Hard drive: 80 GB
DVD/RW Drive
DRAM: 1 GB
Flat panel LCD display
Keyboard and trackball
Ethernet PCIA Card
Multi layer film capacity
Micro spot optics
Scanning stage
Wafer mapping
In-situ capability
Controller type: PC / VME
Operator manual
DBS Spot sizes: 2.7, 10, 40 um
XENON Light source
Wavelength range: 220 nm to 800 nm
2003 vintage.
KLA/TENCOR ASET F5x는 반도체 웨이퍼의 비용 효율적인, 높은 처리량 및 정확한 측정을 제공하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이를 통해 생산 프로세스 성능 및 생산량을 빠르고 정확하게 분석할 수 있습니다. 이 시스템은 광학 이미징, 도량형, 결함 검토 등 여러 하위 시스템으로 구성됩니다. 광학 서브시스템은 종합적인 최첨단 디스플레이 기술 (State-of-the-art Display Technology) 을 활용하며, 이 기술을 통해 웨이퍼의 결함을 해결하고 감지할 수 있습니다. 여기에는 높은 양자 효율 CMOS 유형 (Charge-Coupled Device) 센서의 사용이 포함되며, 배경 소음 수준이 향상되어 정확도와 명암이 향상되었습니다. 광학 이미징 (Optical Imaging) 과 함께, 이 장치는 또한 분류를 최적화하고 잠재적 결함을 감지하는 독특한 이미지 분석 알고리즘 조합을 제공합니다. 도량형 하위 시스템은 중요한 장치 매개 변수를 매우 정확하게 결정합니다. 넓은 영역에서 샘플링하고 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기와 두께 (thickness) 의 처리량을 평가할 수 있습니다. 이 기계는 또한 뛰어난 웨이퍼 매핑 (wafer mapping) 과 풀 필드 이미징 (full-field imaging) 을 사용하여 웨이퍼의 특정 영역을 자세히 특성화하는 기능을 제공합니다. 결함 검토 하위 시스템은 고급 이미지 품질 지표 (advanced image quality metrics) 와 통계적 결함 검증 (statistical defect validation) 기술을 통합하여 잠재적인 문제를 정확하게 파악하고 분류합니다. 결함 유형, 추세, 발생, 지역, 출처 및 위치에 대한 완전한 분석을 제공 할 수 있습니다. 이 서브시스템은 또한 테스트 레시피를 효율적으로 관리하고 정제하는 강력한 소프트웨어 솔루션 (Software Solution) 을 제공하여 잠재적인 문제를 신속하게 파악합니다. 결론적으로, KLA ASET-F5X 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구는 반도체 웨이퍼를 안정적이고, 정확하며, 비용 효율적인 측정을 제공하는 고급 도구입니다. 자산은 생산 공정을 효율적으로 제어하고, 폐기물을 줄이고, 수확량을 향상시킵니다. 매우 정밀한 이미징, 도량형, 결함 검토 기능을 통해 모든 반도체 제조 설비에 귀중한 툴이 됩니다.
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