판매용 중고 KLA / TENCOR ASET F5x #9182371

KLA/TENCOR ASET F5x는 최신 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 오늘날의 고급 반도체 장치의 물리적 특성을 측정하도록 설계되었습니다. 고급 옵틱 (optic) 및 이미징 기능을 통해 피쳐 크기, 지형 높이, 너비, 결함 밀도, 위치와 같은 매개변수를 정확하게 감지하고 측정할 수 있습니다. 이 강력한 시스템은 많은 수의 샘플을 신속하게 분석하여, 장치 제조 및 신뢰성을 보장하는 고급 분석 (Advanced Analysis) 기능을 제공합니다. KLA ASET-F5X는 샘플 웨이퍼 이미징에 광학 현미경을 사용합니다. "현미경 '은 여러 가지 형태 의 작업 에 사용 할 수 있는" 렌즈' 를 갖추고 있으며, 따라서 가장 적절 한 배율 과 해상도 를 선택 할 수 있다. 또한, 전동 샘플 스테이지는 사전 설정된 높이와 깊이에서 샘플의 독립적 인 X 축 및 Y 축 스캔을 허용합니다. TENCOR ASET F 5 X (TENCOR ASET F 5 X) 는 다양한 결함을 감지하기 위해 알고리즘을 사용하여 고급 자동 검사 기술을 통합합니다. 범프, 열린 결함, 구덩이, 긁힘, 마이크로 크랙 및 최소 인간 개입으로 기타 구조를 감지 할 수 있습니다. 3 차원 (3D) 형태 감지 기능으로 결함이 웨이퍼에 정확하게 위치하고 결과가 저장되고 정확도로 제시됩니다. F5x는 최첨단 교정 및 측정 기능이 장착 된 고급 도량형 장치입니다. "웨이퍼 '의 형상 을 정확 하게 측정 하고 세부적 인 지형 지도 와" 데이터' 를 제공 할 수 있다. 높은 정확도 도량형 기능은 RSLI (Resistive Scanning Laser Interferometry) 라는 독점 삼각 측량 방법을 기반으로합니다. 이 방법은 최대 1 나노 미터 크기의 결함의 존재를 빠르게 감지합니다. KLA는 인체 공학과 사용자 친화력을 염두에두고 KLA/TENCOR ASET F 5 X를 설계했습니다. 이 기계에는 다양한 밝고 깨끗한 LCD 화면이 포함되어 있어 사용자가 스트레인 없이 작업을 모니터링할 수 있습니다. 이 도구는 또한 다양한 기능과 기능에 쉽게 액세스 할 수있는 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 갖추고 있습니다. KLA ASET F 5 X는 인상적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산입니다. 자동화된 결함 감지, 지형 측정, 고급 도량형 (advanced metrology) 등 다양한 고급 기능과 기능을 제공합니다. 사용자 친화적 인 설계와 직관적인 GUI로, 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 강력하면서도 간단한 도구입니다.