판매용 중고 KLA / TENCOR ASET F5x #9165996

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ID: 9165996
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR ASET F5x는 KLA Corporation (이전의 TENCOR) 에서 개발 한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비이며 반 도체 산업에서 널리 사용됩니다. 현대 반도체 생산· 공정 (process control) 의 과제를 충족 시키도록 설계된 완전 자동화된 고정밀 시스템이다. 이 단위는 광학으로 얻은 이미지의 캡처 및 분석 (capture and analysis) 과 여러 웨이퍼의 광도 측정 (photometric measurement) 을 동시에 허용합니다. 고해상도 센서는 웨이퍼 반사율에서 미묘한 차이를 감지하여 두께 (thickness), 굴절률 (refractive index) 과 같은 장치 매개변수를 정확하게 측정 할 수 있습니다. KLA ASET-F5X는 광역 이미징 및 스캔 유형 측정을위한 대형 카메라 형식을 갖추고 있습니다. 미량 금속, 도펀트, 컴포지션, 웨이퍼 미세 구조의 다양한 매개변수를 포괄하는 해상도 (21,600x13,000 픽셀) 로 이미지를 캡처하고 분석할 수 있도록 설계되었습니다. 이 기계는 또한 광조건에 의존하는 장치 매개변수를 측정하기위한 높은 정밀도 광도 판독기 (photometric reader) 를 특징으로합니다. 이를 통해 두께 (thickness), 굴절률 (refractive index) 등의 장치 매개변수와 결함 식별을 정확하게 확인할 수 있습니다. 이 툴은 매우 자동화되어 있어, 대용량 데이터를 신속하고 효율적으로 분석할 수 있습니다. 자동화된 기술과 알고리즘은 데이터 분석에 소요되는 시간을 단축하기 위해 고안된 것입니다 (영문). 또한 모듈식 (HA) 아키텍처를 통해 다른 시스템과 쉽게 통합하여 전반적인 효율성을 높일 수 있습니다. 이 자산에는 관심 영역을 신속하게 파악하는 직관적인 도구 (Tool) 세트가 포함된 유연한 사용자 인터페이스 (User Interface) 도 포함되어 있습니다. 대부분의 업계 표준 컴퓨터 네트워크 (computer network) 및 기타 소프트웨어 패키지 (software package) 와 호환되므로 모델을 기존 운영 환경에 쉽게 통합할 수 있습니다. 전반적으로 TENCOR ASET F 5 X (TENCOR ASET F 5 X) 는 완벽한 기술 프로세스 생산에서 최고의 정확성과 효율성을 보장하도록 설계된 안정성이 뛰어난 고정밀 장비입니다. 매우 정확한 센서와 도구를 통해 장치 매개변수를 정확하게 측정하고, 결함을 파악하고, 데이터를 신속하게 분석할 수 있습니다.
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