판매용 중고 KLA / TENCOR ASET F5x #293826779

KLA/TENCOR ASET F5x는 반도체 장치 생산의 속도, 정확성 및 수율을 높이기 위해 설계된 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 웨이퍼 (wafer) 의 모든 영역을 검사하고 정확한 치수를 측정할 수 있으며, 이를 통해 생산 (production) 을 신속하게 조정할 수 있습니다. 또한 테스트 패턴 실행 및 기타 도량형 기능 (예: 장치의 전도성, 균일성, 평평) 을 측정합니다. KLA ASET-F5X는 고정밀 스캔 단계를 활용하여 높은 정확도로 웨이퍼를 검사하고 측정합니다. 스테이지 (stage) 는 x 방향과 y 방향 모두에서 웨이퍼를 이동할 수 있으므로 전체 영역을 완벽하게 적용 할 수 있습니다. 이 단계에는 회전 위치 설정이 포함되어 있어 3 차원 장치 형상을 측정 할 수 있습니다. 스테이지는 브러쉬없는 (brushless) 모터에 의해 구동되며, 이는 매우 빠르고 부드러운 변환을 가능하게 하며, 높은 정밀도와 제어를 제공합니다. 이 기계는 또한 고급 소프트웨어 (advanced software) 를 특징으로하여 검사 및 테스트 절차를 정확하게 사용자 정의할 수 있습니다. 여기에는 자동 이미지 인식, 패턴 식별 및 웨이퍼/장치 테스트가 포함됩니다. 소프트웨어는 데이터를 추적하고 상세한 운영 보고서를 작성할 수도 있습니다. TENCOR ASET F 5 X는 정확성과 속도가 필수적인 대용량 생산 환경에서 사용하도록 설계되었습니다. 원격으로 또는 수동으로 제어할 수 있으며 잼/열 센서, 과열/전압 보호 등 다양한 안전 기능이 있습니다. 이 툴은 또한 매우 안정적이고 비용 효율적이며, 생산성 (production facility) 에 매우 적합합니다.