판매용 중고 KLA / TENCOR ASET F5 #293827457

KLA/TENCOR ASET F5는 반도체 생산 라인 사용을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 그것 은 직경 12 "인치 '까지의" 웨이퍼' 의 성질 을 신속 하고 정확 하게 측정 하고 검사 하고 분석 할 수 있다. 이 시스템은 일련의 기술, 프로세스, 소프트웨어 프로그램을 제공하여 테스트/도량형 작업의 잠재적인 정확성과 유연성을 향상시킵니다. 기판 수준에서 개별 장치 검사 및 특성화에 이르기까지, KLA ASET-F5 는 처리량과 정확도 모두에서 탁월한 성능을 제공합니다. 웨이퍼 검사 및 도량형 기능에는 High-NA 3D 광학 및 CD-SEM 기능, 패턴 인식 기술을위한 OBIRCH (광학 빔 유도 저항 변화) 및 저k 유전체 레이어 도량형이 포함됩니다. TENCOR ASET F 5는 KLA 특허 X 스캔 기술을 사용하여 웨이퍼 샘플에서 이미지를 캡처하여 가장 어려운 환경 조건에서도 뛰어난 반복성을 제공합니다. 이 장치는 또한 고급 옵틱 패키지와 최신 소프트웨어를 갖추고 있으며, 정확한 이미징 및 정확한 3D 재구성을 제공합니다. 또한이 기계는 정확한 자동화를 통해 안정적인 웨이퍼 처리와 깨끗한 가스 분사 인클로저 (gas-injected enclosure) 를 보장하여 ISO 클래스 4 클린 룸 상태를 유지합니다. 이 도구에는 또한 마스크 및 베어 웨이퍼 (Bare Wafer) 검사에 대한 정확한 정렬 및 샘플 마운팅을 위한 듀얼 스테이지 샘플 포지셔닝 에셋이 있습니다. 웨이퍼 도량형 모델에는 맞춤형 샘플 준비 스테이션도 장착되어 있습니다. 여기에는 청소, 리프터, 샘플 홀더, 다양한 Wafer-Level Packaging 및 CMP 도구와 같은 다양한 샘플 준비 도구가 포함됩니다. 이렇게 하면 사용자가 특정 응용 프로그램에 대해 가장 적합한 준비 도구를 선택할 수 있습니다. 마지막으로, 장비에는 강력한 데이터 분석 도구가 포함되어 있습니다. 따라서 웨이퍼 검사 (Wafer Inspection) 및 도량형 도구로 생성된 모든 이미지와 데이터를 처리, 시각화, 분석할 수 있습니다. 소프트웨어 툴은 또한 웨이퍼 품질 (Wafer Quality) 및 프로세스 성능에 대한 통찰력과 포괄적인 수정 작업을 위한 플랫폼 (Platform) 을 제공합니다. KLA/TENCOR ASET-F5는 반도체 생산 라인에 탁월한 성능, 정확성, 유연성을 제공하는 고급 시스템입니다. 종합적인 기능과 기능으로, 이 장치는 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 와 도량형을위한 귀중한 도구입니다.