판매용 중고 KLA / TENCOR ASET F5 #293825602
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ID: 293825602
웨이퍼 크기: 8"-12"
빈티지: 1999
Film thickness measurement system, 8"-12"
Wafer holder and chuck
Robot and handler
Laser
Blower unit
Card cage and board
Cassette type: F5W
PC
1999 vintage.
KLA/TENCOR ASET F5는 매우 작은 수준에서 웨이퍼 성능을 테스트하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 고급 AFM (Atomic Force Microscopy) 과 전기 테스트 기능을 결합하여 중요한 디바이스 매개변수에 대한 포괄적인 뷰를 제공합니다. 이 시스템은 10nm 해상도 범위 (Resolution Range) 까지 기능을 검사할 수 있으며, 전체 통합 테스트 솔루션 제품군을 갖추고 있습니다. KLA ASET-F5 장치는 여러 가지 주요 기능을 제공하여 매우 정확한 성능 결과를 제공합니다. 이 중 첫 번째 기능은 고급 이미징 기능 (advanced imaging capability) 인데, 이 기능을 통해 기계는 미세한 수준에서 선명하고 상세한 기능의 이미지를 찍을 수 있습니다. 이미징 도구는 가변 초점 (variable-focus), 전방향 (omnidirectional) 및 동적 스캐닝 프로브 (dynamic scanning probe) 를 포함한 다양한 AFM 프로브를 사용하여 다양한 응용 프로그램에 최상의 이미지 품질을 제공합니다. 이미징 자산의 고해상도는 또한 매우 민감한 측정을 허용합니다. TENCOR ASET F 5에는 광범위한 전압, 전류, 저항 및 정전 테스트를 포함한 강력한 전기 테스트 기능도 포함되어 있습니다. 고급 전기 테스트 모델은 하드웨어, 소프트웨어, 교정 도구 (calibration tools) 를 결합하여 웨이퍼 성능을 정확하고 안정적으로 평가합니다. 마모 및 오염 테스트 측면에서, 장비는 매우 반복 가능한 결과를 제공합니다. 맨눈에 보이지 않는 결함을 감지 할 수 있으며, 통합 된 TDR (Time Domain Reflectometry) 흔적에서 Probe를 10um 정도로 작게 접촉하는 힘을 측정 할 수도 있습니다. 이 시스템은 또한 고급 입자 분석 기능을 가지고 있으며, 사용자가 입자를 2nm까지 감지하고 식별 할 수 있으며, 입자 오염의 환경 영향을 평가할 수 있습니다. TENCOR ASET-F5는 독립형 유닛으로 자동 작동하거나 다른 시스템과의 통합을 위해 설계되었습니다. 조정 가능한 시간 초과 설정이 포함 된 RS-232 통신 프로토콜이 특징입니다. 이 기계의 작동 범위는 0 ~ 50 ° C이며, 전원 냉각 모듈 (옵션) 을 사용하면 중단 없이 15 시간 이상의 작업을 수행할 수 있습니다. TENCOR ASET-F 5 (TENCOR ASET-F 5) 는 강력하고 포괄적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 툴로서, 웨이퍼 성능 평가를 위한 다양한 이미징 및 전기 테스트 기능을 제공합니다. 자동운영과 강력한 AFM· 전기시험이 반도체· 재료과학· 연구개발 등 다양한 산업에 이상적이다.
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