판매용 중고 KLA / TENCOR ASET F5 #293814192

KLA / TENCOR ASET F5
ID: 293814192
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR ASET F5는 반도체 생산에 사용되는 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 다양한 웨이퍼 (wafer) 매개변수에 대한 빠른 처리량과 정확한 분석을 제공하도록 설계되었습니다. 반도체 업계에서 널리 채택되고 있는데, 작업 부하 최소화 (minimal workload) 와 사용자 개입 (user intervention) 을 병행하여 여러 웨이퍼를 안정적으로 처리할 수 있기 때문이다. KLA ASET-F5는 통합 광학 모듈 및 CCD 카메라와의 간섭계를 사용하여 웨이퍼 얇음, 두께 변형, 평면도, 병렬 처리, 복호화, 뒤틀림 및 원형성을 포함한 다양한 매개 변수를 정확하게 측정합니다. 또한 "웨이퍼 '의 표면 에 결함 이 있는지 검사 하는 데 사용 할 수 있는 표면 영상 장치 도 포함 된다. 이 기계 는 짧은 시간 내 에 많은 수 의 "웨이퍼 '를 신속 히 측정 하도록 설계 되었다. 다른 크기의 웨이퍼 (wafer) 를 공구에 로드할 수 있으며, 검색 속도 (detection rate) 를 사용자 정의하여 배치 간의 다운타임을 줄일 수 있습니다. 자산은 또한 자동화된 웨이퍼 처리 모델 (wafer handling model) 을 특징으로하며, 이를 통해 장비에 웨이퍼를 로드하거나 운영자의 개입 없이 언로드할 수 있습니다. TENCOR ASET F 5는 다양한 웨이퍼 유형 및 재료를 분석 할 수 있습니다. 쿼츠 웨이퍼, Si 웨이퍼, 고온 전이 금속 웨이퍼, 기타 여러 가지 배경, 재료, 구조가 다른 웨이퍼를 정확하게 측정 할 수 있습니다. 또한 다양한 유형의 웨이퍼 (wafer) 에 대한 측정을 최적화하는 데 사용할 수있는 다양한 조정 가능한 매개변수가 제공됩니다. 이 시스템에는 또한 사용자가 장치를 제어하고, 사용자 지정 측정 계획을 만들고, 결과를 분석할 수 있도록 하는 통합 소프트웨어 (Integrated Software) 제품군이 있습니다. 이 소프트웨어를 사용하면 사용자 정의 보고서 (Custom Report) 를 쉽게 생성할 수 있으며, 이를 통해 Wafer 매개변수의 경향을 분석하고 여러 프로덕션 배치에서 성능을 추적할 수 있습니다. 또한 원격 모니터링 또는 제어를 위한 원격 액세스를 지원합니다. 전반적으로, ASET-F5 는 빠르고 효율적인 방법으로 다양한 wafer 에 대한 정확하고 자동화된 테스트를 제공하도록 설계되었습니다. 자동화된 웨이퍼 처리 장치 (wafer handling machine), 다용도 탐지율 설정 (detection rate settings), 통합 소프트웨어 제품군 (integrated software suite) 및 다양한 웨이퍼 유형을 측정하는 기능은 반도체 업계의 생산라인에 강력하고 안정적인 도구입니다.
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