판매용 중고 KLA / TENCOR ASET F5 #293605775

KLA/TENCOR ASET F5는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 집적 회로에 대한 높은 처리량과 정확한 분석을 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 광학 검사, 결함 검토, 기타 다양한 테스트를 수행할 수 있습니다. KLA ASET-F5는 대용량 웨이퍼 펀드리 및 고급 반도체 장치 제조 시설에서 생산량을 극대화하도록 설계되었습니다. 이 장치는 TruMap 광학 검사 기계 및 AlphaStep Surface Metrology와 같은 최신 기술을 사용합니다. TruMap 도구는 고해상도 옵틱을 사용하여 웨이퍼를 "트럼 (trumap)" 하여 결함 감지 및 최상위 및 고가상도 비율 결함을 인식합니다. TruMap은 또한 매우 효율적인 결함 검토 프로세스를 허용합니다. 알파스텝 서피스 도량형 (AlphaStep Surface Metrology) 은 저항 및 시트 저항과 같은 물리적 매개변수를 측정합니다. 이 작업은 비파괴적 (non-destructive) 또는 비접촉적 (non-contact) 방식으로 수행되므로 웨이퍼의 피쳐 패턴을 보다 정확하게 표현할 수 있습니다. 이 자산은 웨이퍼 저항성 (Wafer Resistivity) 측정과 시트 저항성 (Sheet Resistance) 을 전환하여 유연성과 정확도를 높일 수있는 기회를 제공합니다. TENCOR ASET F 5 모델에는 결함 검토를위한 고해상도 이미징 장비도 포함되어 있습니다. 이 시스템을 사용하면 결함을 신속하게 검토하고 식별할 수 있습니다. 이 장치에는 좁은 밴드 이미징, 라인 스캔 이미징, 전체 웨이퍼 매핑 및 결함 방향 맵과 같은 기능이 포함됩니다. 이러한 모든 기능은 사용자에게 웨이퍼 (wafer) 와 해당 서피스의 전체 뷰를 제공합니다. 이 기계에는 고정밀 수율 모니터링 도구가 있습니다. 이 자산은 프로세스별 (process-by-process) 방식으로 생성되며, 디바이스의 장애 또는 문제 발생 가능성에 대한 조기 경고를 제공할 수 있습니다. 수율 모니터링 시스템은 높은 수율과 디바이스 품질을 보장하기 위해 프로세스를 유지, 최적화하는 데 매우 유용합니다. 마지막으로 ASET-F 5 모델에는 보안 이벤트 레코더도 포함됩니다. 이 레코더는 모든 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 (metrology) 작업에 대한 기록을 보관하는 데 사용되므로 모든 장치 또는 프로세스 문제를 추적하고 품질 (quality) 디바이스만 생성하도록 할 수 있습니다. 요약하면, KLA/TENCOR ASET F 5는 집적 회로에 대한 높은 처리량과 정확한 분석을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. TruMap 광 검사, AlphaStep Surface Metrology, 고해상도 이미징, 보안 이벤트 레코더 등의 기능을 갖춘 최신 기술을 활용합니다. 이 시스템은 대용량 웨이퍼 파운드리 (Wafer Foundries) 에서 제조업체의 생산량을 극대화할 수 있도록, 높은 수율 및 장치 품질을 제공하는 종합적인 플랫폼을 제공합니다.