판매용 중고 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #9361399

KLA/TENCOR Alpha Step IQ는 반도체 산업의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 고급 광학 및 광학 어셈블리와 하드웨어 가속 알고리즘을 결합하여 광학 구성 요소의 빠르고, 정확하고, 반복 가능한 도량형을 제공합니다. 고속 이미징 시스템, 광학 최적화 도량형 알고리즘, 특허받은 광학 간섭 장치 (Optical Interferometry Unit) 로 구성된 고급 소프트웨어 및 하드웨어를 기반으로합니다. 이 플랫폼은 웨이퍼의 3 차원 지형 이미지를 제공하여 반도체 웨이퍼 표면을 신속하게 검사 할 수 있습니다. 최대 웨이퍼 크기는 200mm (웨이퍼 전체에 최대 16,000 단계) 이며 이미지 해상도는 1nm 이상입니다. 특허 보류 간섭 기계는 1nm까지 기능을 측정할 수 있으며, 샘플링 해상도는 단계당 0.5nm (0.5nm) 입니다. 광학 부품 (Optics Assembly) 에는 각기 다른 재료나 지형을 가진 웨이퍼의 고대비 이미징을위한 간섭 패턴을 생성하기위한 격자 (Grating) 도구가 포함되어 있습니다. 이를 통해 작은 피쳐와 표면을 더 잘 감지 할 수 있습니다. KLA Alpha Step IQ 는 고급 분석 및 보고 기능을 제공하며, 최대 16,000 단계까지 지원하여 데이터 농도 및 자동 교정/정렬 기능을 제공합니다. 자동화된 정렬 기능을 통해 이미징 매개변수를 정확하게 제어할 수 있으며, 보고 기능을 통해 미크론 (micron) 수준의 해상도를 갖춘 정밀 도량형을 광범위하게 분석할 수 있습니다. 전체 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 는 사용자 정의 분석을 위한 쉽고 직관적인 설계를 제공합니다. TENCOR ALPHASTEP IQ에는 고급 광학, 광학 어셈블리 및 이미징 시스템이 포함되어 있으며, 시간이 지남에 따라 매개변수를 조정하는 실시간 피드백도 제공됩니다. 이 제품은 강력한 소프트웨어 패키지로 제어되며, 데이터 수집, 분석, 보고서 작성을 관리하는 실시간 (real-time) 운영 자산이 내장되어 있습니다. 이 소프트웨어는 사용자 정의가 가능하며, 데이터 관리를 위한 다양한 분석 툴을 제공합니다. KLA/TENCOR ALPHASTEP IQ 플랫폼은 도량형의 정확성과 정확성을 보장하기 위해 설계되었으며, 반도체 장치 제작에서 효율성 및 처리 속도가 향상되었습니다. 고급 디바이스 설계를 위한 확장 가능한 성능, 향상된 구성 (fabrication) 수율, 신뢰성 보장 등을 제공합니다. 이 제품은 다양한 소재 (material) 와 기판 (substrate) 으로 사용하기에 적합하며, 효과적인 설계 및 최적화에 필요한 정보를 갖춘 반도체 소자 엔지니어에게 권한을 부여합니다.