판매용 중고 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #9229842

KLA/TENCOR Alpha Step IQ는 반도체 나놀리토그래피의 고급 프로세스 제어를 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 현대 반도체 제조 공정 (semiconductor manufacturing process) 에 필요한 품질 수준을 충족시키는 여러 가지 강력한 기능을 제공합니다. KLA 알파 스텝 IQ (Kla Alpha Step IQ) 는 이미징 기반 시스템으로, 나노미터 해상도로 완전한 웨이퍼 표면의 이미지를 만들 수 있습니다. 전문 빔 전달 및 이미징 액세서리로 용이한 높은 NA (수치 조리개) 광학을 사용하여 웨이퍼의 상단 및 하단 표면을 모두 검사합니다. 이 장치는 서브 미크론 (submicron) 기능에서 더 큰 참호 및 기타 구조에 이르기까지 다양한 기능을 감지 할 수 있습니다. 스캔 헤드는 X-Y 서보 제어 모터 스테이지 (X-Y servo-controlled motor stage) 에 의해 움직입니다. 이는 사용자에게 다양한 웨이퍼 형상의 기능을 측정하고 분석 할 수있는 인상적인 기능을 제공합니다. 이 기계는 종횡비 (Aspect Ratio), 임계 치수 (Critical Dimension), 선 너비 거칠기 (Line Width Roughness), 측면 벽 각도 (Sidewall Angles) 등 웨이퍼 서피스와 관련된 많은 키 메트릭을 측정 할 수 있습니다. 이러한 데이터 포인트는 사용자 인터페이스를 통해 그래픽으로 표시되거나, 웨이퍼 서피스의 3D 맵 (3D map) 을 생성할 수 있습니다. 고급 분석도 사용할 수 있으며, 이는 높이, 각도 및 기타 기능에서 하위 미크론 변화를 감지 할 수 있습니다. 많은 추가 기능으로 인해 TENCOR ALPHASTEP IQ는 정말 강력한 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구입니다. 이미지 처리 기능은 맵 기반 분석 및 자동 초점 (auto-focus) 을 포함한 사후 프로세스 옵션으로 향상될 수 있습니다. 또한 이미지 데이터를 캡처하여 분석할 수 있습니다. 에셋에는 정확도 향상을 위해 자동화된 웨이퍼 정렬 기능도 포함되어 있습니다. 전반적으로 KLA ALPHASTEP IQ는 공정 제어 및 반도체 나놀리토그래피에 이상적인 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델입니다. 이미징 (Imaging) 과 분석 (Analytical) 기능을 완벽하게 조합하여 다양한 웨이퍼 형상에서 다양한 기능을 감지할 수 있습니다. 또한, 자동화된 정렬 기능과 포스트 프로세싱 (post-processing) 옵션은 분석의 정확성과 정확성의 여분의 계층을 더합니다.