판매용 중고 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #9205705
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판매
ID: 9205705
Surface profiler
P/N: 0051047-000
Manual is loaded on the PC
Power: 110 V, 50/60 Hz, 1 Phase
CE Marked.
KLA/TENCOR Alpha Step IQ는 마이크로 칩 웨이퍼의 중요한 전기 및 물리적 매개변수를 측정하기 위해 설계된 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 독점 측정 알고리즘을 사용하여 높은 정확도와 매우 낮은 불확실성을 달성합니다. 이 장치는 고해상도 이미징 머신을 사용하여 2D 및 3D 형식 모두에서 최대 3400dpi를 검사합니다. 이렇게 하면 공구가 마이크로칩의 서피스 구조 및 지형에 대한 자세한 정보를 제공할 수 있습니다. 에셋에는 고급 광학 현미경이 포함되어 있으며, 연산자는 높은 배율의 픽셀 단위로 샘플을 검토 할 수 있습니다. 고급 자동 분석 툴 (Automated Analysis Tools) 은 실시간 프로세스 최적화를 위한 그래픽 및 수치 추세 분석을 포함하여 온보드 데이터 분석을 제공합니다. 머신 비전 검사 (machine vision inspection) 는 웨이퍼 구조에서 자동으로 이상을 감지하고 우려 영역에 대해보고합니다. KLA Alpha Step IQ에는 고속 웨이퍼 매핑 모델이 포함되어 있으므로 여러 배치에서 여러 웨이퍼를 동시에 테스트할 수 있습니다. 이를 통해 테스트 시간이 단일 웨이퍼 테스트 (single-wafer testing) 에 비해 일부 시간으로 단축되면서 출력이 증가합니다. 또한 네트워크 내 여러 시스템을 연결할 수 있는 범위 (Scope) 를 제공하므로, 여러 운영자가 모든 시스템의 진행 상황을 모니터링하는 하나의 장비와 함께 작동할 수 있습니다. 테스트 프로세스의 여러 단계에서 수집된 데이터를 저장 (save) 하여 심층 보고서 (in-depth report) 를 생성하여 웨이퍼 테스트 (wafer test) 를 더욱 자세히 분석할 수 있습니다. 이 시스템에는 가스 처리 시스템, 온도 프로브, 열 관리 도구 등 다양한 액세서리가 제공됩니다. 이렇게 하면 측정된 매개변수 (parameters) 의 정확성과 신뢰성이 유지되고 프로세스 흐름의 편차가 빠르게 수정될 수 있습니다. TENCOR ALPHASTEP IQ는 엄격한 SEMI C57 표준을 충족시키기 위해 Semes에서 인증 한 최초의 측정 단위로, 품질 및 웨이퍼 테스트 신뢰성 표준을 보장합니다. 이 인증은 세심한 연구, 개발, 엔지니어링의 결과였으며, 이 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 기계의 고급 테스트 기능에 대한 증언입니다.
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