판매용 중고 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #9135156
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KLA/TENCOR Alpha Step IQ는 반도체 제조의 프로세스 모니터링 및 분석을 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 광 이미지 처리 (Optical Imaging) 와 다중 센서 (Multiple Sensor) 를 결합하여 중요한 구성 노드의 웨이퍼에 대한 다양한 결함을 신속하게 파악하고 측정합니다. KLA Alpha Step IQ 시스템은 하드웨어 및 소프트웨어 구성 요소를 하나의 패키지로 통합하여 처리량이 많은 대규모 운영 부지에 대한 포괄적인 분석 기능을 제공합니다. 이 장치에는 웨이퍼 (wafer in place) 를 전송 및 보호하는 자동화된 처리 플랫폼, 분석용 결함 이미지를 캡처하는 광학 센서 어레이, 기계 기능을 제어하기위한 통합 전자 패키지 (electronics package) 가 포함되어 있습니다. TENCOR ALPHASTEP IQ (TENCOR ALPHASTEP IQ) 에는 다양한 고급 이미지 처리 알고리즘이 장착되어 있어 웨이퍼에서 2 차원 결함을 완전히 자동화하고 분류할 수 있습니다. 이 도구는 on-wafer step height instability, critical dimension (CD) error 및 uniformity 부족과 같은 파라 메트릭 불규칙성을 식별 할 수 있습니다. 또한 온웨퍼 (on-wafer) 기능을 분류하고 테스트된 부품의 고장 확률 (POF) 을 계산합니다. TENCOR Alpha Step IQ는 최신 반도체 제작에 필요한 생산 모니터링 기능도 제공합니다. 이 기능은 실시간 결함 피드백 (feedback) 과 통합될 수 있으며, 프로세스 성능을 실시간으로 모니터링할 수 있으며, 프로세스 노드 간 프로세스 안정성에 대한 정보를 제공합니다. 이 기능을 통해 자산은 하나의 웨이퍼 (wafer) 에서 다음 (next) 으로 제품 품질을 최적화하여 생산 비용을 절감하고 수익률을 높일 수 있습니다. 전반적으로, Alpha Step IQ 모델은 최신 반도체 제작을위한 귀중한 도구이며, 제조업체는 결함 검사, 프로세스 모니터링 및 도량형을위한 고급 기능을 제공합니다. 운영 비용, 프로세스 제어, 수익률을 최적화하는 강력한 솔루션입니다.
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