판매용 중고 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #293682500

KLA/TENCOR Alpha Step IQ는 최고의 정확성과 반복성으로 웨이퍼 표면 기능을 측정 할 수있는 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. KLA 알파 스텝 IQ (KLA Alpha Step IQ) 는 최첨단 특허 기술에 의존하여 스캐닝 베드를 통해 웨이퍼를 운반하고, 레이저를 사용하여 표면 기능을 나노 미터 수준으로 검사하고 매핑합니다. 광다이오드 (Photodiodes) 는 각 측정 점에서 반사를 측정하여 웨이퍼 서피스의 지형을 결정하는 데 사용됩니다. 이 광 다이오드 측정은 웨이퍼 표면의 3 차원 "컨투어" 맵을 구성하는 데 사용됩니다. 이 컨투어 맵 (contour map) 은 종합적이고 매우 상세한 방식으로 웨이퍼의 모양과 서피스 지형을 나타냅니다. 이 시스템은 단계 높이, 프로파일, 곡률 반지름, 기울기, 평탄도 등 다양한 웨이퍼 서피스 피쳐를 측정할 수 있습니다. 이러한 측정의 정확성은 놀랍습니다. 대부분의 응용 분야에서 일반적으로 0.5nm 이상의 반복 가능성이 있습니다. 고급 전자 장치 및 광학을 사용하여 TENCOR ALPHASTEP IQ 장치를 사용하면 매우 빠른 스캐닝 (일반적으로 전체 200mm 웨이퍼에 걸쳐 측정을 완료하는 데 몇 초 밖에 걸리지 않음) 이 가능하므로 처리량 및 프로세스 피드백을 빠르게 수행할 수 있습니다. 이 기계는 또한 강력한 내장 분석 (Bast-in Analysics) 을 제공하여 다양한 웨이퍼 로트 크기에서 프로세스 결과를 쉽게 분석 할 수 있습니다. 또한 오프라인 분석 도구를 사용하여 프로세스를 더욱 최적화할 수도 있습니다. 마지막으로, 알파 스텝 IQ (Alpha Step IQ) 에는 특수 비품 및 프로브 암을 포함한 다양한 액세서리가 포함되어 있으며, 측정 기술의 유연성과 현재 사용 가능한 대부분의 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비와의 호환성을 제공합니다. 전반적으로, ALPHASTEP IQ (ALPHASTEP IQ) 는 매우 정확한 측정과 비교할 수없는 프로세스 최적화 기능을 제공 할 수있는 다재다능하고 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구입니다.