판매용 중고 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #293647760

KLA/TENCOR Alpha Step IQ는 반도체 웨이퍼에서 나노미터 스케일 기능을 검사하고 측정하기 위해 설계된 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. KLA Alpha Step IQ는 3D 광학 현미경, 초점 현미경, 임계 치수 스캔 전자 현미경 (CD-SEM) 및 이미지 분석 도구와 같은 수많은 기능을 결합하여 빠르고 정확하며 반복 가능한 웨이퍼 검사 프로세스를 제공합니다. 이 시스템은 300mm 및 200mm 직경 유전체 및 광학 마이크로 리토 그래피 웨이퍼 (optical microlithography wafer) 를 포함하여 다양한 웨이퍼 유형과 크기를 처리하는 데 적합합니다. 통합 된 3D 광학 현미경은 5nm 이하의 기능 이미지를 캡처하도록 설계되었으며, 초점 현미경은 3nm 이하의 기능을 캡처 할 수 있습니다. 또한, CD-SEM은 높은 정확성과 반복성으로 임계 크기 (CD) 및 재료 균일성을 측정 할 수 있습니다. 이 장치는 또한 웨이퍼 검사 기능을 보완하는 강력한 소프트웨어 도구 세트를 제공합니다. 소프트웨어 제품군에는 여러 가지 고급 이미지 처리 알고리즘, 향상된 결함 분석 도구, 이미지 스티칭 (stitching) 기능이 포함되어 있습니다. 이러한 툴은 데이터를 분석하는 데 소요되는 시간을 최소화하고, 사용자 정확성과 생산성을 높이도록 설계되었습니다 (영문). 또한 TENCOR ALPHASTEP IQ에는 웨이퍼 검사를 쉽게 수행할 수 있도록 설계된 여러 가지 자동 기능이 있습니다. 자동 광 탐색을 통해 스캔된 이미지를 보다 빠르고 효율적으로 탐색할 수 있습니다. 자동 교정을 통해 각 이미징 단계를 최대 정확도로 수행할 수 있습니다. 또한 자동 빔 감지 (Automatic Beam Detect) 및 자동 초점 (Autofocus) 기능을 통해 각 이미지가 정확하고 철저하게 자동으로 초점을 맞출 수 있습니다. 또한 ALPHASTEP IQ는 특정 웨이퍼에 맞게 사용자 정의할 수 있으며, 사용자에게 최대의 유연성을 제공합니다. 사용자 정의 가능한 소프트웨어 설정을 통해 사용자는 시스템을 특정 요구 사항에 맞게 최적화할 수 있습니다. 따라서 KLA ALPHASTEP IQ는 정밀 웨이퍼 검사 및 측정 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다.