판매용 중고 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #293610543

KLA/TENCOR Alpha Step IQ는 효율적인 테스트, 프로세스 제어 및 장치 특성화에 최적화된 높은 처리량 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 다양한 패턴에 대한 정확하고, 반복 가능하며, 추적 가능한 측정값을 제공하여 견고한 제조 기능을 유지하면서 고급 검사 (advanced inspection) 기능을 제공합니다. KLA Alpha Step IQ에는 최대 2 개의 독립 프로세스 챔버와 고급 소프트웨어 알고리즘이 포함되어 있어 임계 크기 (Critical Dimensions) 및 선/공간 너비 (Line/Space Width) 와 같이 디바이스 토포그래피를 빠르고 정확하게 측정할 수 있습니다. 이 장치는 리소그래피, 에치 (etch), 필름 증착 (film deposition) 등 다양한 프로세스 단계를 신속하고 안정적으로 검사합니다. 고급 광학 현미경을 사용하여 TENCOR ALPHASTEP IQ는 표면 거칠기, 에치 깊이, CD 균일성, 저항 두께 및 선/공간 너비를 기존의 광학 현미경보다 정확성과 속도로 측정 할 수 있습니다. 미러 진단 및 이미징은 가장 높은 충실도 측정을 위해 사용됩니다. TENCOR 알파 스텝 IQ (Alpha Step IQ) 는 까다로운 칩 설계에서도 중요한 치수의 반복성과 정확성을 위해 무색 도량형 모드를 통합합니다. 검사 및 프로파일링 데이터에 적용되는 고급 소프트웨어 알고리즘은 CD 사양을 완전하게 유지하는 데 도움이 됩니다. 이 기계에는 또한 광학 오버레이 측정이 포함되어 있어 매우 정확한 프로세스 제어를 보장합니다. 이러한 기능 외에도, KLA/TENCOR ALPHASTEP IQ는 다양한 그래프/디스플레이 옵션을 포함한 고급 보고 기능을 제공하여 프로세스 결과를 완벽하게 보여줍니다. 이 툴은 통계적 프로세스 제어 (statistical process control) 를 사용하여 개별 프로세스 편차를 파악하고 전체 프로세스를 분석하여 잠재적인 프로세스 문제를 신속하게 격리, 연구, 대응할 수 있는 수단을 제공합니다. 결론적으로, 알파 스텝 IQ (Alpha Step IQ) 는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산으로, 웨이퍼 처리 및 장치 특성화에 매우 효율적이고 정확하며 안정적인 방법을 제공합니다. 이 모델은 임계 치수 (critical dimensions) 와 선/공간 너비 (line/space width) 에서 서피스 거칠기 (surface roughness), 에치 깊이 (etch depth) 및 저항 두께 (resists thickness) 에 이르기까지 다양한 패턴의 빠르고 정확한 측정을 제공합니다. 고급 소프트웨어 (Advanced Software) 알고리즘을 사용하면 CD 사양을 철저히 유지하고 전체 프로세스에 대한 분석을 통해 잠재적인 프로세스 문제를 신속하게 파악하고 대응할 수 있습니다.