판매용 중고 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #293593018

KLA/TENCOR 알파 스텝 IQ (Alpha Step IQ) 는 웨이퍼 표면에서 전기적 특성을 자동으로 측정하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 통합 하드웨어/소프트웨어 제품군을 사용하면 Wafer 품질을 향상시키면서 프로세스 최적화 시간을 줄일 수 있습니다. KLA Alpha Step IQ 플랫폼의 하드웨어 구성 요소에는 도량형 단계, 이미징 모듈, 정전기 척 및 다양한 조명 소스가 포함됩니다. 스테이지에는 샘플 서피스의 정확한 스캔을 위해 고정밀 동작 제어 장치 (high-precision motion control unit) 가 장착되어 있습니다. 통합 이미징 구성 요소는 자동 초점 조정 및 파장 제어를 갖춘 고정밀 광학 현미경입니다. 정전기 척은 웨이퍼 테스트를위한 정확하고 균일 한 전기 환경을 제공합니다. 그리고 조명원은 웨이퍼 표면에서 전기 특성 (electrical properties) 이나 지형 (topographical) 기능을 선택적으로 감지하도록 설계되었습니다. TENCOR ALPHASTEP IQ 측정 도구 (Tool Suite) 의 측정/테스트/검사 단계를 통해 프로세스 예외를 신속하게 파악하고 프로세스 문제를 해결할 수 있습니다. 전기, 잔류 전하 영상 (RCI), 분광 반사 영상 (SRI) 및 원자력 현미경 (AFM) 을 포함한 광범위한 2D 및 3D 도량형 기술을 지원합니다. 전기 도량형 응용 프로그램의 경우, 도구 제품군은 고해상도 트랜지스터 채널 길이와 게이트 폭 측정, CSR (Contact Sheet Resistance) 측정 및 시트 저항 매핑 (SRM), 전류 전압 (IV) 및 정전 전압 (CV) 측정을 가능하게합니다. 소프트웨어 제품군은 Wafer 구성 프로세스를 자동화 및 간소화하도록 설계되었습니다. 여기에는 데이터 획득, 분석, 보고서 작성 등 도량형 루틴의 실행을 촉진하는 알고리즘과 소프트웨어 루틴 모음이 포함되어 있습니다 (영문). 또한, 소프트웨어는 패턴 인식 및 분석을위한 일련의 고급 알고리즘을 갖추고 있습니다. 이렇게 하면, 기계 가 공정 수차 를 신속 히 탐지 할 수 있는데, 심지어 표본 의 크기, 모양, 전기 특성 이 다양 할 때 도 그러합니다. 또한 Alpha Step IQ 플랫폼은 이더넷 기반 연결, 전압 또는 전류 출력용 아날로그 포트, 이미지용 펄스 출력 (pulse output) 등의 연결 옵션을 제공하여 모든 자동화 또는 로봇 플랫폼과 도구를 통합할 수 있는 유연성을 제공합니다. 자산 기능을 더욱 확장하기 위해 사용자는 단일 웨이퍼 분광사진계 (single wafer spectrophotometer) 와 같은 옵션 모듈을 추가할 수 있습니다. 전반적으로 KLA/TENCOR ALPHASTEP IQ는 높은 처리량, 정확성 및 신뢰성을 제공하는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델입니다. 종합적인 하드웨어/소프트웨어 구성 요소를 통해 웨이퍼 (Wafer) 구성 기능을 통해 프로세스 최적화 시간을 줄이고 프로세스 성능을 최적화할 수 있습니다.