판매용 중고 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #193355

KLA/TENCOR Alpha Step IQ 는 wafer 테스트 및 도량형 플랫폼으로, 광범위한 디바이스 형상에서 샘플의 비파괴적 특성을 가능하게 합니다. 다양한 자동 기능을 갖춘 고해상도, 저소음 스캐닝 플랫폼 (low-noise scanning platform) 을 통해 기능 에지 (feature-edge) 및 프로파일 특성을 정확하게 측정할 수 있습니다. 장비는 광학 산란 측량 (optical scatterometry) 을 사용하여 샘플 피쳐의 모양과 크기를 측정합니다. 그런 다음 캡처된 이미지를 디지털 분석하여 샘플 치수에 대한 자세한 정보를 제공합니다. KLA 알파 스텝 IQ (Alpha Step IQ) 는 태양 광 패널 및 MEMS 센서와 같은 주요 장치의 조사와 광학 산란법을 통한 스텝, 트렌치 및 via의 종합적인 특성을 제공합니다. 자동 웨이퍼 정렬 (Automated wafer alignment) 및 참조 보정 (reference calibration) 기능을 통해 시스템을 다중 단계 도량형 및 결함 검사에 이상적인 플랫폼으로 만들 수 있습니다. 3D 프로파일 매핑, 두께 측정, 전기장 시뮬레이션 등 질적, 정량적 분석을 모두 제공합니다. TENCOR ALPHASTEP IQ (ALPHASTEP IQ) 는 강력한 데이터 획득 및 분석 툴을 결합하여 광범위한 분석 기능을 제공할 수 있습니다. TENCOR Alpha Step IQ는 고속 HeNe 레이저 및 다중 광학 검출기를 통합하여 탁월한 감도와 해상도를 제공합니다. 고정밀 X/Y/Z 스테이지와 고급 동력 이미징 기능을 통해 최대 200mm 크기의 샘플을 이미징 및 분석할 수 있습니다. 또한 처리량이 많은 샘플 처리를 위해 한 번에 최대 6 개의 샘플을 수용 할 수 있습니다. 또한, 벤치탑 및 자동 모드를 포함한 다양한 작동 모드를 제공합니다. 알파 스텝 IQ (Alpha Step IQ) 는 사용자 정의가 가능하여 연구원들이이 단위를 특정 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. KLA/TENCOR ALPHASTEP IQ는 직관적인 사용자 인터페이스와 강력한 소프트웨어 개발 툴을 통해 장치 분석에 이상적인 플랫폼을 제공합니다. 이 기계는 표준 LabVIEW 소프트웨어와 호환되므로 기존 실험실 프로세스에 쉽게 통합할 수 있습니다. 요약하자면, KLA ALPHASTEP IQ는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 플랫폼으로, 샘플의 파괴적이지 않은 특성을 가능하게하며, 질적 및 양적 분석을 모두 제공합니다. 이 도구의 고속 레이저 시스템 (high-speed laser system) 과 뛰어난 이미징 기능을 통해 다중 단계 도량형 및 결함 검사에 이상적인 플랫폼이 됩니다. 사용자 정의 가능한 기능, 강력한 데이터 획득 및 분석 도구, 표준 LabVIEW 호환성을 갖춘 ALPHASTEP IQ 를 통해 연구원은 특정한 요구 사항에 맞게 자산을 조정할 수 있습니다.