판매용 중고 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #193091

KLA/TENCOR Alpha Step IQ는 반도체 산업을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 사용자는 On-Wafer 및 독립형 측정을 모두 수행할 수 있으므로 Wafer 의 Profile Parameter 를 결정할 수 있습니다. 이중 초점 광학 헤드를 사용하여이 장치는 빠르고 정밀도가 높은 측정을 제공합니다. 광학 헤드는 두 평면을 동시에 측정하여 측정 시간을 크게 줄입니다. KLA Alpha Step IQ에는 웨이퍼의 수직 이동을위한 동력 z 단계가 있습니다. 이를 통해 기계는 다양한 깊이에서 비 접촉 측정을 할 수 있습니다. 이 도구에는 통합 자동 조절기 (autocollimator) 와 비 접촉 광학 현미경 (non-contact optical microscope) 을 모두 갖춘 독특한 광학 검출기 조합이 있습니다. 전자는 1 미크론까지 측정을 제공하고 후자는 최대 수 밀리미터까지 측정 할 수 있습니다. TENCOR ALPHASTEP IQ는 웨이퍼 서피스의 3 차원 측정을 제공하여 프로파일의 높이, 너비 및 각도를 측정할 수 있습니다. 이 자산은 좁은 능선 (row ridge) 이나 깊은 계곡 (deep valley) 과 같은 작은 기능을 감지 할 수 있습니다. 또한, 모델에는 웨이퍼 대칭 및 프로파일 서피스 측정을 지원하는 기능이 있습니다. 사용자에게 친숙한 사용자 인터페이스를 통해 ALPHASTEP IQ를 쉽게 작동할 수 있습니다. 장비는 완전히 자동화되어 있으며 최대 500 개의 표준 측정을 절약 할 수 있습니다. 또한 수집 된 데이터를 몇 분 안에 해석 할 수있는 강력한 분석 소프트웨어 인 그래프 스킴 (GraphScheme) 이 있습니다. KLA/TENCOR ALPHASTEP IQ에는 웨이퍼 테스트 외에도 EUV (extreme ultra-violet) 마스크 검사 및 DBD (die-by-die) 검사와 같은 도량형 기능이 있습니다. DBD 검사는 웨이퍼의 각 다이 (die) 에 결함이 있는지 검사하여 더 정확한 웨이퍼 특성을 제공합니다. EUV 마스크 검사 (EUV mask inspection) 는 마스크 패턴의 결함을 감지하고 측정하기 때문에 photomask manufacturing을 사용하는 사용자에게 도움이 됩니다. 알파 스텝 IQ (Alpha Step IQ) 에는 자동 홍채 모니터링 및 전원 안전 창과 같은 여러 안전 기능도 있습니다. 업계 최고의 설계로 시스템이 다운타임을 최소화하여 실행됩니다. 전반적으로 KLA ALPHASTEP IQ는 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 강력한 도구입니다. 또한 사용자가 정확성과 속도를 높여 효율성을 높이고 시간을 절약할 수 있습니다.