판매용 중고 KLA / TENCOR Alpha Step D-120 #293829247
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KLA/TENCOR Alpha Step D-120은 반도체 웨이퍼에서 개별 장치의 정확하고 반복 가능한 비파괴 측정을 제공하기 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 중요한 도량형 작업 (metrology task) 에 대한 포괄적인 솔루션을 제공하며, 제조업체가 정확하고 안정적인 결과를 제공할 수 있게 해 주므로, 비용이 많이 드는 프로세스 재작업을 줄일 수 있습니다. KLA Alpha Step D-120 장치는 고급 비 접촉 광학 측정 기술과 강력한 자동 샘플 처리를 결합합니다. 이 기계는 밝은 필드 및 어두운 필드 반사율 이미징을 사용하며, 이는 마스크, 트렌치, 비아 및 사이드월과 같은 피쳐 유형을 측정하는 데 이상적입니다. 또한 전체 3D 이미징 기술로 측정하여 전체 웨이퍼 (wafer) 전체에서 높은 정확도와 향상된 깊이 해상도를 제공합니다. 이 도구는 또한 웨이퍼 (wafer) 에서 외국 입자를 감지하여 집적 회로의 성능을 크게 줄일 수있는 능력을 가지고 있습니다. 매우 민감한 도량형 알고리즘을 사용하여 TENCOR Alpha Step D-120은 크기가 10nm 미만인 입자를 감지하고, 이를 분리하고 식별하는 실시간 정렬 및 정량화 기능을 제공합니다. 또한, 데이터는 제조 공정에서 잠재적 인 문제를 식별하는 데 사용될 수 있으며, 이는 제품 생산량 손실을 줄이는 데 도움이 됩니다. 알파 스텝 D-120 (Alpha Step D-120) 자산은 전기 매개변수를 감지하여 전체 웨이퍼에서 저항성, 정전량, 전압과 같은 전기 특성을 빠르고 정확하게 평가할 수 있습니다. 따라서 제품 성능이나 신뢰성을 그대로 유지하면서 최고의 품질 표준을 충족할 수 있습니다. 사용자 친화적 시스템 제어 소프트웨어 및 자동 샘플 처리와 결합된 이러한 기능은 KLA/TENCOR Alpha Step D-120을 웨이퍼 테스트 및 도량형의 필수 도구로 만듭니다. 이 모델은 광범위한 소재에서 고해상도, 고해상도 측정 (high-accuracy measurement) 을 생성할 수 있으며, 모든 웨이퍼에서 최대 정확도의 중요한 장치 매개변수를 보장합니다. 또한, 이 장비는 다양한 규모의 생산 라인에서 구현할 수 있도록 손쉽게 확장되며, 모든 제조 단계에서 탁월한 성능, 안정성, 반복성 등을 제공합니다.
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