판매용 중고 KLA / TENCOR Alpha Step D-100 #293607100

KLA/TENCOR Alpha Step D-100은 반도체 생산 및 나노 기술 개발에 사용하도록 설계된 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 100nm 해상도의 다양한 샘플 유형에 대해 2D 광학 검사 및 도량형을 사용할 수 있습니다. 이 장치에는 포지셔닝 정확도가 5äm 인 정밀 XY 스테이지가 장착되어 있어 넓은 지역의 고해상도 이미징 (high-resolution imaging) 이 가능합니다. 이 XY 단계는 고급 5 축 기울기/회전 동력 플랫폼으로 보완되어 복잡한 나노 구조를 자세히 조사 할 수 있습니다. 이 기계에는 독점적 인 X- 선 레이저 웨이퍼 테스트 기술이 포함되어 있으며, 무기 및 유기 재료의 정확한 이미징이 가능합니다. 이 기술은 X 선 (X-ray) 이 샘플링 된 물질에서 발사될 때 방출되는 원자의 분석을 기반으로하며, 샘플의 이미지를 생성하도록 분석된다. KLA Alpha Step D-100에는 표면 지형 및 결함 분석과 같은 광범위한 이미징 도구가 포함되어 있습니다. 이 도구는 최대 2000배의 배율로 서피스 텍스처, 서피스 결함, 기타 형상을 평가할 수 있습니다. 이러한 이미지는 결함 분석 및 서브 미크론 피쳐의 정확한 측정에 사용될 수 있습니다. 자산에는 4 포트 Digital Metrology Station도 있습니다. 이 스테이션에는 직선 및 곡선 기능을 모두 측정 할 수있는 고성능, 고정밀도 선형 스케일이 있습니다. 이 스테이션은 또한 높은 정확도 디지털 프로브 (High-Accuracy Digital Probe) 를 갖추고 있으며, 측정 중인 좌표와 중앙 컴퓨터 사이의 자동 데이터 전송을 통합하여 데이터 처리 시간을 크게 줄입니다. 마지막으로, TENCOR Alpha Step D-100에는 데이터 분석 및 보고를위한 소프트웨어 도구도 있습니다. 이 소프트웨어 제품군은 현장 검사, 프로세스 개발, 최종 제품 테스트 등 다양한 애플리케이션을 위해 설계되었습니다. 이를 통해 데이터 정확도가 가장 높은 상세 보고서 (Detailed Report) 를 생성할 수 있으며, 데이터를 사용자 정의하여 분석할 수 있습니다. 요약하면, 알파 스텝 D-100 (Alpha Step D-100) 은 나노 미터 수준에서 재료를 빠르고 정확한 이미징할 수있는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델입니다. 이 장비에는 독점 X-ray 기술, 광범위한 이미징 도구, 4 포트 Digital Metrology Station, 데이터 분석 및 보고를위한 소프트웨어 도구가 포함됩니다.