판매용 중고 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #9393024
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KLA/TENCOR Alpha Step 500은 KLA, Inc.에서 개발 한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 제조 층의 웨이퍼 (wafer) 와 얇은 배경 필름 (thin background film) 을 정확하게 측정하는 종합적인 표면 및 지형 도량형 기술이 특징입니다. 첨단 기술을 통해 생산 라인에서 가장 미세한 문제를 감지 할 수 있습니다 (영문). KLA Alpha Step 500은 자동, 비접촉식 스타일러스, 비접촉식 광학 간섭계, 비접촉식 지형 시스템이 통합 된 접촉 프로파일로미터 등 3 가지 도량형을 통합합니다. 이러한 각 프로세스를 통해 가변 높이, 서피스 황삭, 형상의 샘플에서 신뢰할 수 있는 서피스 측정이 가능합니다. 간섭계는 단일 지점, 비접촉 광 기술을 사용하여 실시간 데이터 수집 및 빠른 결과를 제공합니다. 스타일러스 (stylus) 는 복잡한 3 차원 샘플의 지형 프로파일뿐만 아니라 필름 또는 서피스 피쳐의 두께를 측정합니다. Contact Profilometry는 정확하고 상세한 Profile Detail을 위해 여러 Scan 위치와 속도를 사용합니다. TENCOR 소프트웨어는 강력한 분석 기능을 제공하여 데이터 디스플레이 (data display), 시각화 (visualization) 및 웨이퍼 서피스 데이터 분석을 위한 통합 환경을 제공합니다. 이 기능을 사용하면 편리하고 사용자에게 편리한 형식으로 정보를 효율적으로 전송할 수 있으며, 소규모 (small localized) 기능에서 평균 최상위 (top-level) 프로파일에 이르는 모든 기능을 활용할 수 있습니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 를 통해 각기 다른 데이터 모드를 신속하게 탐색할 수 있으며, 도량형 엔지니어가 대규모 데이터 세트를 관리할 수 있습니다. TENCOR ALPHASTEP 500은 운영 및 유지 보수가 용이한 산업 생산 라인의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 자동화된 프로세스, 조정 가능 매개변수 (Adjustable Parameter), 내장 테스트 프로그램 등을 갖추고 있어 산업 환경에서 효율적이고 정확한 도량형을 구현할 수 있습니다. 또한 측정 데이터 (measuration data) 를 단위에서 쉽게 추출하여 여러 환경에서 전송할 수 있도록 설계되었습니다. 전반적으로 KLA/TENCOR ALPHASTEP 500은 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계로, 프로덕션 플로어에 이상적입니다. 통합된 도량형 툴과 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 를 통해 엔지니어와 프로덕션 라인 (Production Line) 운영자는 웨이퍼 (Wafer) 와 얇은 배경 필름 (Background Film) 을 정확하게 측정하여 비용이 많이 드는 제조 오류의 위험을 줄일 수 있습니다.
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