판매용 중고 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #9272107

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ID: 9272107
웨이퍼 크기: 4"-8"
Film thickness measurement system, 4"-8".
KLA/TENCOR Alpha Step 500은 고급 반도체 제조에 사용되는 고정밀 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 반도체 칩의 미세한 결함을 감지하고 측정하도록 설계되었으며, 차원 (dimensional) 과 전기 (electrical) 측정에서 비교할 수 없는 정확성과 정밀도를 자랑합니다. KLA Alpha Step 500에는 레이저 간섭법, 비전 기반 분석, 고급 도량형 기능 등 강력한 광학 기술이 결합되어 있습니다. 통합 도량형 시스템에는 고 다이내믹 레인지 카메라, 자동 초점 및 전동 스캐닝 스테이지가 포함됩니다. 이를 통해 칩의 물리적 차원과 전기 파라미터 (전기 매개변수) 를 모두 측정 할 수 있으며, 해상도는 최대 0.001 (m) 입니다. TENCOR ALPHASTEP 500은 또한 기능 인식에서 결함 특성에 이르기까지 다양한 자동 소프트웨어 기능을 지원합니다. 첨단 이미징 알고리즘과 고급 소프트웨어 (Advanced Software) 는 결함을 1 m 정도로 감지하고 특성화할 수 있으며, 이미지 분석 알고리즘은 다양한 유형의 결함을 구별 할 수 있습니다. 또한, ALPHASTEP 500은 유연성과 확장성을 고려하여 설계되었으며, 다른 장비와 통합하여 변화하는 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. 또한 실리콘, 유리, 쿼츠, 세라믹, 유기물 등 다양한 웨이퍼 기판을 지원합니다. 전반적으로 Alpha Step 500은 고정밀 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 필수 도구입니다. 고급 이미징 (imaging), 도량형 (metrology), 자동화 (automation) 기능은 반도체 테스트 및 분석에 이상적이며, 유연성과 확장성은 고급 반도체 제조에 귀중한 도구입니다.
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