판매용 중고 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #9230371

KLA/TENCOR Alpha Step 500은 반도체 산업의 요구를 충족시키기 위해 설계된 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 고급 광학 간섭 및 측정 기술을 사용하여 두께, 곡률, 광학 특성 및 여러 200mm 및 300mm 직경 웨이퍼의 기타 재료 세부 사항을 측정합니다. KLA 알파 스텝 500 (Alpha Step 500) 에는 반도체 산업을 염두에 둔 3 축 조정 플랫폼이 있으며, 다양한 측정 구성에서 다양한 웨이퍼 크기와 샘플을 수용 할 수 있습니다. 이 플랫폼은 동시 측정을 위해 최대 6 개의 웨이퍼 (wafer) 를 지원할 수 있으며, 동시에 여러 웨이퍼를 스캔할 수도 있습니다. 시스템 밑면의 레이저 정렬 장치 (Laser Alignment Unit) 는 장치에 대한 웨이퍼를 정확하게 정렬할 수 있으며, 무버 플랫폼 (Mover Platform) 과 로봇 자동 샘플러 (Robot Autosampler) 는 정밀 이동 및 샘플 처리 기능을 제공합니다. 기계의 코어 측정 구성 요소는 통합 간섭계로, 정밀도가 높은 샘플의 정밀 고해상도 (< 1nm) 측정을 가능하게합니다. 간섭계의 디자인은 초정밀 위치 역학과 공진 주파수 기술 (Freonant Frequency Technology) 을 결합하여 탁월한 안정성과 정확성을 제공합니다. 이 간섭계 (interferometer) 는 최고 해상도 측정을 가능하게 하며 곡면 및 고르지 않은 서피스에서 수차 없는 측정을 허용합니다. 또한 고급 도구 수준 진단, 유지 보수 유틸리티 등의 다양한 기능을 지원합니다. TENCOR ALPHASTEP 500의 통합 소프트웨어를 통해 사용자는 자산의 기본 측정 모드에서 프로그래밍 가능한 (programmable) 모드로 손쉽게 전환할 수 있으며, 광범위한 프로세스 안정성, 고급 자동 테스트를 제공합니다. 이 소프트웨어에는 데이터 분석, 분석, 추세 추적 등의 기능도 포함되어 있습니다. 이 모델은 통합 소프트웨어 (Integrated Software) 외에도 다양한 소프트웨어 패키지와 호환되며, 이러한 패키지는 사용자의 특정 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. KLA/TENCOR ALPHASTEP 500은 정확한 웨이퍼 검사 및 특성화에 이상적인 도구입니다. 하이엔드 성능, 통합형 소프트웨어, 확장성 등을 결합하면 모든 반도체 제조 설비를 위한 강력한 자산입니다 (영문).