판매용 중고 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #9215920
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KLA/TENCOR Alpha Step 500은 매우 복잡한 반도체 장치 아키텍처를 빠르고 정확하고 정확하게 측정하도록 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 최신 SPM (Scanning Probe Microscope) 기술을 활용하여 장치 구성 요소의 위치와 방향을 빠르고 정확하게 측정합니다. 클라이 알파 스텝 500 (KLA Alpha Step 500) 은 웨이퍼 표면의 미세한 피쳐를 정확하게 캡처하기 위해 10nm 정도의 이미지 해상도를 사용할 수 있으므로 나노 스케일 피쳐를 측정하는 데 특히 유용합니다. 포함된 소프트웨어는 반자동 정렬 (semi-automatic alignment), 고속 이미지 캡처 (fast image capture) 및 강력한 이미지 분석 알고리즘을 제공하여 모든 관련 기능을 매우 정확하게 측정할 수 있습니다. 전문 인체 공학 (ergonomics) 과 아키텍처 (architecture) 를 통해 사용자는 다양한 수준의 정확성과 정밀도로 웨이퍼를 이동할 수 있습니다. 이중 인코더로 빠르고 정확한 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 를 사용하면 회전 배치 및 변환 측면에서 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 를 효과적으로 제어할 수 있습니다. 웨이퍼를 빠르고 쉽게 장착/마운트 해제하여 TENCOR ALPHASTEP 500을 사용하면 신속한 전환과 생산성 향상을 보장할 수 있습니다. 이 시스템은 다양한 아날로그/디지털 장치에 자동 스캔/이미징 장치를 사용합니다. 이 기계는 또한 특허를 획득한 스캐너 (scanner) 를 포함하고 있는데, 이 스캐너 (scanner) 는 매우 훌륭한 해상도와 정확도를 제공하여, 일반적으로 다른 방법으로 측정하기 어렵거나 불가능한 웨이퍼 세부 사항을 측정할 수 있습니다. 스캐너는 모션 제어 기술을 사용하여 플라즈마 또는 전자 빔 리소그래피 (EBL) 도구에 사용되는 것과 유사한 정확한 위치 지정을 사용합니다. KLA ALPHASTEP 500에는 각 샘플을 실시간으로 검사 할 수있는 고급 비전 자산도 있습니다. 이를 통해 사용자는 모든 이상을 쉽게 모니터링하고 해결할 수 있습니다. 이 모델은 웨이퍼 구조의 데이터 표시 및 그래픽 표현을 제공합니다. 모든 관련 데이터는 하드 드라이브 (HDD) 에 디지털로 저장되며, 향후 분석 및 참조를 위해 보관할 수 있습니다. 이 장비는 또한 각 웨이퍼 (wafer) 데이터에 대한 포괄적인 통계 분석을 통해 사용자가 동향, 수율 및 기타 중요한 지표를 결정할 수 있습니다. 요약하면, KLA/TENCOR ALPHASTEP 500은 고도로 정교하고 정확한 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 사용자 친화적 인 인터페이스와 결합된 기능을 통해 반도체 웨이퍼에서 나노 스케일 (nano-scale) 장치의 위치, 방향, 구조를 결정하는 데 탁월한 정확성과 민감도를 제공합니다. 복잡한 구조와 장치 구성 요소를 빠르게 측정하는 데 이상적인 도구입니다.
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