판매용 중고 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #9181207
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KLA/TENCOR Alpha Step 500 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 표면 도량형 및 결함 검토 응용 프로그램을위한 업계 최고의 플랫폼을 제공합니다. 최첨단 시스템은 컴팩트하고, 공간이 절약되며, 효율적인 반도체 웨이퍼 테스트를 가능하게 합니다. 클라이 알파 스텝 500 (KLA Alpha Step 500) 은 다양한 웨이퍼 테스트 및 표면 도량형 기능을 수행하는 종합적이고 통합 된 장치입니다. 최대 4 인치 직경의 웨이퍼를 테스트 할 수 있습니다. 기계는 고급 광학 헤드 및 이미지 센서를 통해 게이트 산화물, 게이트 마스크 레이어 (gate mask layers) 와 같은 중요한 반도체 표면 기능을 감지하고 검사하며 결함 감지, 너비/깊이 측정, 물리적 상단 표면 분석 등을 지원합니다. 또한 고급 통합 데이터 분석 기능을 통해 예측 패턴 분석, 비이상 스캐닝 응답 (scanning response) 의 실시간 수정, 자동 결함 플래깅 (defect-flagging) 및 내림차순 (descaling) 기능을 제공합니다. 이 기능은 자산의 측정 기능을 향상시켜 테스트 결과의 정확성과 반복 (repeatability of test results) 을 극대화합니다. 또한 TENCOR ALPHASTEP 500의 IntelligentWafer ™ 옵션은 빠른 웨이퍼 로드, 등록 및 매핑을 위해 자동 웨이퍼 인식 기능을 제공합니다. 이 모델의 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 를 통해 사용자는 이미지와 측정 (Measurement) 에서 문제를 쉽고 빠르게 파악할 수 있으며, 사용자 지정 데이터 디스플레이를 제공하도록 설정할 수 있습니다. 엔지니어 (Engineer) 는 테스트 프로세스의 상태를 모니터링하고 분석할 수 있으며, 데이터 및 성능 피드백을 지속적으로 받을 수 있습니다. 또한, KLA ALPHASTEP 500은 감독 제어 장비 및 통합 데이터 관리 시스템과 연결하여 여러 장치를 중앙 집중식으로 관리하고 감독할 수 있습니다. 요약하면, TENCOR Alpha Step 500 Wafer Testing and Metrology System은 지능형 엔지니어링 설계를 통해 고해상도 이미징 및 밀도 측정을 제공하여 빠르고 정확하며 반복 가능한 테스트 결과를 얻을 수 있습니다. 직관적인 사용자 인터페이스와 자동화된 웨이퍼 (wafer) 로드 및 인식 기능을 통해 효율적인 테스트 환경을 구현할 수 있습니다.
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