판매용 중고 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #9180951
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ID: 9180951
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1995
Step height measurement system, 6"
Stylus-based surface profiler
12.5㎛ Stylus
Accurate surface characteristic measurement
With resolution to 1A
Repeatability: 10Å (1s) or 0.1%
With 2D step height metrology profiling
Computer controlled scanning
Data collection
Comprehensive data analysis software
Intuitive user interface
Zoom optics with magnification (70~210X)
Application specific recipes
Multi-scan average mode scans up to 10 times
Averages the scan before print out
Powerful data analysis
With up to 30 standard surface parameters selections
Enables R&D
QA Process control
With step height metrology
Below 50 nm to 300 μm
1995 vintage.
KLA/TENCOR Alpha Step 500은 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로 샘플 지형을 매우 정확하게 비 접촉 측정할 수 있습니다. 0.1 nm (0.1 nm) 의 정확도를 갖는 가변 스캔 크기를 가지며, 표면을 깊게 이해할 수 있습니다. 450 mm x 450 mm의 대형 측정 필드와 광범위한 오브젝티브 렌즈를 갖춘 KLA 알파 스텝 500 (Alpha Step 500) 은 대형 웨이퍼의 빠르고 고해상도 측정을 할 수 있습니다. 이 제품은 익숙한 사용자 인터페이스 (user interface) 를 갖춘 사용이 간편한 시스템으로, 광범위한 사용자가 이 기술을 효과적으로 활용할 수 있습니다. TENCOR ALPHASTEP 500에는 광범위한 측정 기능이 있으며, 이를 통해 3 차원 기능의 고품질 이미지를 캡처하여 작은 입자의 미세한 세부 사항을 분석 할 수 있습니다. 이 장치에는 평균 높이, 스텝 높이, 평탄도, 상승 높이, 표면 영역, 각도, 프로파일 너비, 서피스 거칠기, 피크 높이 등의 값을 제공하는 독특한 다차원 데이터 추출이 가능한 잘 개발 된 이미지 처리 장치가 있습니다. ALPHASTEP 500 (ALPHASTEP 500) 은 자동 샘플 분석을 위한 고급 소프트웨어를 사용하여 여러 측정에서 데이터를 손쉽게 분할하고 통합할 수 있도록 지원합니다. KLA/TENCOR ALPHASTEP 500의 매우 정밀하고 정확하며, 다양한 요구 사항과 테스트 매개변수를 충족하는 적응성과 더불어, 광범위한 업종과 어플리케이션에 이상적인 선택이 됩니다. 작은 투명 샘플에서 넓은 불투명 영역 (opaque area) 에 이르는 모든 것의 표면 특성을 검사하고 측정하는 데 사용할 수 있으며, 범프 (bump), 선 (line) 과 같은 고차 피쳐도 사용할 수 있습니다. 반도체 업계에서 TENCOR Alpha Step 500은 연마 된 웨이퍼 표면 테스트, 곡물 경계 평가, 미세한 산화물 층 특성화, 결함 감지 등 여러 작업에 사용됩니다. 또한, 이 기계는 광학 문자 인식 (optical character recognition), 모양 인식 (shape recognition) 또는 이름표 검사 (label inspection) 와 같은 다른 작업에도 사용됩니다. 전반적으로, Alpha Step 500은 매우 정확하고, 반복 가능하며, 신뢰할 수있는 측정 결과를 제공하는 강력한 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구입니다. 광범위한 비즈니스, 학술, 연구 기관, 검사 및 측정 시설에 이상적인 선택입니다. 다양한 기능, 사용하기 쉬운 인터페이스, 빠른 작동 속도, KLA ALPHASTEP 500은 웨이퍼 및 기타 표면 피쳐를 측정, 분석하는 데 효과적인 솔루션을 제공합니다.
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