판매용 중고 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #9153565
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ID: 9153565
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2001
Surface profiler, 6"
Stylus-based surface profiler adjustable between 1 and 100 mg
Computer controlled scanning and data collection
High resolution VGA monitor zoom optics
Multi-scan average mode scans up to 10 times
Standard surface parameters selections: Up to 30
Surface characteristic measurement:
With resolution to 1A
2D Metrology profiling: 10Å (1s)
Repeatability enables process control: 0.1%
2001 vintage.
KLA/TENCOR Alpha Step 500 장비는 반도체 웨이퍼의 물리적 특성을 매우 정확하고 신뢰할 수 있도록 설계된 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 플랫폼입니다. 이 시스템은 정적 나노미터 크기의 프로파일 (예: 웨이퍼 모서리 (Wafer Edge) 및 웨이퍼 (Wafer) 뒷면) 을 정확하게 측정 할 수있는 정확하고 강력한 스캐닝 속도 측정 장치를 갖추고 있습니다. KLA Alpha Step 500 기계는 고급 기술을 사용하여 웨이퍼 표면의 정확한 전기 특성을 측정하고 결정합니다. 이를 통해 웨이퍼 (wafer) 의 표면 (surface) 과 하부 (subsurface) 의 전기 특성을 정확하게 평가하여 최종 사용자에게 제품에 대한 종합적인 이해를 제공합니다. KLA ProSphere Data Acquisition and Analysis 플랫폼과 결합하면 TENCOR ALPHASTEP 500은 반도체 웨이퍼의 프로세스 및 제품 결함을 식별, 정량화, 완화하는 데 사용되는 매우 정확한 결과를 제공합니다. ALPHASTEP 500은 운영자 친화적이며 사용하기 쉽도록 설계되었습니다. 직관적인 소프트웨어 패키지 (그래픽 사용자 인터페이스 포함) 를 통해 사용자는 빠르고 쉽게 측정하고, 데이터를 분석하고, 화면상의 결과를 볼 수 있습니다. 또한 TENCOR Alpha Step 500에는 고급 진단 기능이 있어 결함과 개선 영역을 쉽게 식별 할 수 있습니다. 또한 ProSphere (ProSphere) 패키지를 사용하면 데이터를 보다 정교하게 분석할 수 있으므로 시간이 지남에 따라 추세를 보다 잘 파악하고 분석할 수 있습니다. 안정성을 극대화하기 위해 KLA/TENCOR ALPHASTEP 500 도구는 유연성 및 업그레이드 기능을 위해 설계되었습니다. 사용자는 보다 빠른 측정 속도로 쉽게 업그레이드할 수 있으므로 빠르고 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 결론적으로, KLA ALPHASTEP 500은 다양한 반도체 웨이퍼 특성에 대한 정교한 분석을위한 고급적이고 신뢰할 수있는 웨이퍼 테스트 및 도량형 플랫폼입니다. 정확하고 견고한 스캐닝 시스템, 직관적인 소프트웨어 패키지, 강력한 진단 (diagnostics) 기능을 통해 빠르고 안정적인 결과를 얻을 수 있으며, 이는 정확한 프로세스 제어 및 개선에 이상적입니다.
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