판매용 중고 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #9084578

KLA/TENCOR Alpha Step 500은 반도체, 광전자 및 마이크로 기계적 구성 요소를 포함한 다양한 재료의 두께, 구성, 기하학적 프로파일 및 전기 특성을 측정하도록 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 광학 간섭 (optical interferometry), 적외선 분광법 (infrared spectroscopy) 및 정전 전압 기술을 결합하여 광범위한 기판의 데이터를 수집합니다. 클라이 알파 스텝 500 (KLA Alpha Step 500) 은 매우 정확하고 3 차원 광학 초점 기술을 사용하여 거의 모든 재료의 두께를 나노 미터의 일부까지 정확도로 측정합니다. 이를 통해 웨이퍼 재료의 조성 및 조성 분포를 동시에 측정하고 그 전기적 특성 (예: 저항, 전류 누출 특성) 을 테스트 할 수 있습니다. 이를 통해 장치가 불량 배치를 감지하고 웨이퍼의 거칠기 (roughness) 변형을 측정할 수 있습니다. TENCOR ALPHASTEP 500은 고성능 적외선 분광계 및 정전 전압 데이터 획득 시스템을 사용하여 반도체 및 광전자 웨이퍼를 특징으로합니다. 이 기계는 실리콘 게르마늄 (silicon germanium), 질화 갈륨 (gallium nitride) 및 질화 실리콘 탄소 성분 분배와 같은 다양한 화합물 반도체 재료 시스템을 식별 할 수 있으며, 하부 단층 분해능으로 기질 표면 구성 분포를 측정 할 수 있습니다. 또한, KLA/TENCOR ALPHASTEP 500은 광학 시야의 실시간 위치를 지정하여, 레이어의 구성과 두께를 정확하게 측정 할 수 있습니다. KLA ALPHASTEP 500은 모든 측정을 올바르게 수행하기 위해 청소실 환경이 필요합니다. 이 도구는 또한 다른 프로브를 갖춘 로봇 암 (robotic arm) 을 갖춘 신뢰할 수있는 자동화 플랫폼을 갖추고 있습니다. 이를 통해 기판 특성을 반복 측정 할 수 있으며, 높은 처리량을 분석할 수 있습니다. 알파 스텝 500 (Alpha Step 500) 은 재료 연구 및 개발에 적합하며 반도체 및 광전자 제작 라인의 프로세스 및 품질 제어에 이상적입니다. 이 자산은 또한 점점 줄어들고, 복잡성이 높은 마이크로 일렉트로닉 구성 요소의 특성화 및 분석을위한 고급 도구입니다.