판매용 중고 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #9073857

KLA/TENCOR Alpha Step 500은 다양한 반도체 재료의 초고정밀 측정을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. '극도의 정확성 (extreme accurity)' 을 지닌 광범위한 디바이스 구조를 측정할 수 있어 반도체 제작의 '고급 애플리케이션' 을 위한 중요한 프로세스 개발 및 모니터링에 이상적입니다. 이 시스템은 표면과 인터페이스를 자세히 검사하기 위해 강력한 광학 현미경 (optical microscope) 을 갖추고 있으며, 미세한 동작 제어가 가능한 단계 (stage) 와 지형 특성화를위한 스캐닝 프로브 (scanning probe) 현미경을 갖추고 있습니다. 정확한 스캐닝 및 이미징 기능을 갖춘 KLA Alpha Step 500은 결함 및 패턴 분석에 적합한 툴이며, 크리티컬 차원 및 모양 정보를 해결합니다. 이 장치는 반도체 응용 프로그램을위한 고급 도량형 및 검사 도구 모음과 통합되어 있습니다. 여기에는 소음 및 퍼즈 피트 소프트웨어, 3D 이미징 및 분석, 각종 두께 예측 및 실시간 프로세스 모니터링이 포함됩니다. 이 기계에는 현장 측정, 고해상도 표면 분석, 전기 측정, 피크 신호 감지 (peak signal detection) 등 측정 옵션이 장착되어 있습니다. 이 도구와 통합 된 멀티 센서 플랫폼 (multisensor platform) 을 사용하면 복잡한 반도체 구조의 정확한 특성에 필요한 매우 민감한 매개변수를 동시에 얻을 수 있습니다. 자산의 자동 제어 (automated control) 를 통해 높은 처리량 생산 시나리오에서도 높은 정확도와 반복성으로 샘플을 측정할 수 있습니다. TENCOR ALPHASTEP 500은 강력한 웨이퍼 레벨 기능과 업계 최고의 정확도를 제공합니다. 디바이스 설계, 프로세스 개발, 프로토타입 제작, 프로세스 개발 및 프로덕션 프로세스 지원에 이상적입니다. TENCOR 알파 스텝 500 (Alpha Step 500) 은 모든 최첨단 반도체 제조업체에 귀중한 자산입니다.