판매용 중고 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #293809046

ID: 293809046
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR Alpha Step 500은 반도체 웨이퍼 및 장치에 대한 빠르고 정확한 테스트를 위해 특별히 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 제품은 다양한 최첨단 툴과 구성요소 (component) 를 갖춘 기능적 장치 (functional unit) 와 장치 크기 및 성능 테스트 프로세스를 간소화하기 위해 설계된 소프트웨어, 하드웨어 (hardware) 로 구성되어 있습니다. 테스트 시스템에는 웨이퍼 표면에서 다양한 유형의 결함을 감지 할 수있는 2 개의 독립적 인 AOI (Automated Optical Inspection) 시스템이 있습니다. 각 장치는 기능 크기를 0.3 ½ m 아래로 감지 할 수 있으며, 가장 작은 결함조차도 인식 할 수 있습니다. 프로세스 지향 정밀 측정 헤드도 몇 가지 포함되어 있으며, 이는 단면 및 양면 웨이퍼 테스트에 대한 향상된 정확성과 반복 성을 제공합니다. 이 기계에는 Confocal Inspector, Pin-Point Light Source 및 고급 CCD 카메라를 사용하여 정확한 결함 감지를 보장하는 고정밀 미세 이미징 도구가 포함되어 있습니다. [초점 검사기] 는 장치의 저소음 3D 이미지를 제공하며, 이를 분석하여 다양한 특성을 결정합니다. 에셋에는 wafer's edge, general wafer pattern recognition (일반 웨이퍼 패턴 인식) 과 같은 표면 측정에 중점을 둔 향상된 optics 패키지도 장착되어 있습니다. 이 패키지는 또한 고해상도 픽셀 기능 분석 모델을 제공하며, 장치 기능을 분석하기 위해 픽셀 크기가 0.2 µm까지 낮습니다. 클라이 알파 스텝 500 (KLA Alpha Step 500) 은 완벽하게 자동화된 프로세스로, 완전한 터치스크린 사용자 인터페이스를 통해 작업을 단순화하고 최고의 정확성을 보장합니다. 이 소프트웨어에는 원격 제어 (remote control) 옵션도 포함되어 있으므로 모든 위치에서 완전한 원격 프로세스 제어를 수행할 수 있습니다. 전반적으로 TENCOR ALPHASTEP 500은 반도체 웨이퍼 및 장치를 정확하고 반복적으로 분석하기위한 강력하고, 안정적이며, 다재다능한 도구입니다. 자동화된 광학 검사, 초점 검사기 현미경, 고급 광학 (optic) 과 같은 최첨단 기능을 갖춘 이 장비는 웨이퍼 테스트 및 도량형의 최적의 결과를 보장합니다.
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