판매용 중고 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #293794175

KLA/TENCOR Alpha Step 500은 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 다재다능하고 정확한 장비입니다. 이 시스템은 수율 분석, 프로세스 모니터링, 장치 특성 등 반도체 제조 분야에서 다양한 애플리케이션에 적합합니다. KLA Alpha Step 500에는 KLA AP932 도량형 플랫폼이 있으며, 여기에는 가장 정확한 Laser Interferometer 프로파일러, 높은 정확성과 반복성 및 AFM/SPM 플랫폼이 포함되어 있습니다. 이 플랫폼은 고정밀 오버레이, 단면 및 구형 수차 측정을 허용합니다. 또한 TENCOR ALPHASTEP 500에는 고급 웨이퍼 바이 웨이퍼 정렬 컨트롤이 포함되어 있으므로 다양한 크기와 모양의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 장치의 기계적 정확성과 신뢰성도 정확한 측정 결과를 보장합니다. 샘플 준비를 위해 알파 스텝 500 (Alpha Step 500) 을 사용하면 수동으로 웨이퍼를 자동으로 로드하고 언로드할 수 있습니다. 기계에는 샘플 준비를 단순화하고 정확한 측정 결과를 보장하는 작동 제어 (예: 샘플 중심) 가 장착되어 있습니다. 또한 TENCOR Alpha Step 500은 TENCOR 독점 TOPSPIN 필름 모니터링 소프트웨어를 포함한 다양한 내장 분석 도구를 제공합니다. 이 소프트웨어는 필름 스택의 다양한 계층에서 낮은 수준의 필름 균일 (film unifority) 데이터를 읽으며, 사용자에게 심층적인 웨이퍼 분석을 제공합니다. KLA ALPHASTEP 500에는 임베디드 (Embedded) 데이터 획득 및 해석 툴이 포함되어 있어 사용자가 자산 내부 데이터베이스에 데이터를 저장할 수 있습니다. 이 데이터베이스는 기간별 데이터를 보다 쉽게 액세스하고 통계적 프로세스 제어를 간소화합니다. 성능 측면에서 KLA/TENCOR ALPHASTEP 500은 0.5nm 공간 정확도와 0.04nm 루트 평균 제곱 거칠기가 가능합니다. 이 모델은 또한 높은 재생 빈도 (Refresh Rate) 를 제공하여 반복 가능한 결과와 안정적인 자동 분석 (Automated Analysis) 을 단일 측정으로 제공합니다. ALPHASTEP 500은 장치 및 프로세스 모니터링을위한 다용도 및 강력한 도구입니다. 고급 기능, 정밀성, 신뢰성을 통해 Wafer Testing 및 Metrology 애플리케이션을 위한 이상적인 옵션입니다.