판매용 중고 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #293740542
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KLA/TENCOR Alpha Step 500은 웨이퍼 및 IC 칩의 모양, 크기 및 지형을 정확하게 측정하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 반도체 업계에서 기판을 조사, 특성화하고 잠재적 인 수율 제한 결함을 식별하기 위해 널리 사용됩니다. 이 시스템에는 고해상도 광학 현미경, 나노 미터 레벨 동작 단계 및 레이저 프로파일 로메트리 변위 센서가 포함됩니다. 해상도는 10nm ~ 100õm까지 3D 기능의 고밀도 표면 프로파일을 제공 할 수 있습니다. 정밀한 스캐닝을위한 고급 정렬 장치 (Advanced Alignment Unit), 고르지 않은 표면에 대한 정확한 측정을 보장하는 일정한 힘 기계 (Constant-Force Machine) 및 빠르고 집중적 인 스캐닝을위한 터보 분자 트위스트 드라이브 도구 (Turbomolecular Twist Drive Tool) 가 특징입니다. KLA Alpha Step 500은 단계 높이를 정확하게 측정하고 표면의 고화질 3D 이미지를 제공하는 포인트 센스 레이저 프로파일로메트리를 사용합니다. 또한 평탄도 분석, 스텝 높이 분석, 스크래치 및 가우지 분석, 루트 평균 사각형 거칠기 분석, 서피스 텍스처 분석 등 다양한 웨이퍼 테스트 및 도량형 응용 프로그램을 제공합니다. 자산의 직관적인 사용자 소프트웨어는 실험을 쉽게 설정하고, 작업을 자동화하고, 설정을 사용자 정의할 수 있도록 설계되었습니다. 유연한 프로그래밍과 다른 테스트 플랫폼과의 통합이 특징입니다. 또한 데이터 관리 및 보고 작업을 간소화하는 통합 보고서 관리자를 제공합니다. TENCOR ALPHASTEP 500 모델은 매우 안정적이고 효율적이며 비용 효율적입니다. 매우 다양한 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 (metrology) 작업에 사용할 수 있으며 빠르고 정확한 결과를 제공합니다. 반도체 제조 공정의 모든 단계에서 고정밀도, 고효율 (HI) 측정을 추구하는 제조업체와 실험실에 이상적입니다.
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