판매용 중고 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #293660940

KLA/TENCOR Alpha Step 500은 가장 까다로운 웨이퍼 측정 및 특성을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. KLA Alpha Step 500은 높은 처리량과 정확한 도량형 기능을 제공하여 반도체 프로세스 개발, 검증, 생산에 이상적입니다. 이 시스템은 가변 스테이지에 장착된 이중 축 렌즈 (dual-axis lens) 를 갖추고 있으며, 다양한 샘플 크기와 유형을 수용할 수있는 유연성을 제공합니다. 이미징 플레이트, 16 비트 Data Acquisition 유닛 및 고해상도 Linear Motor가 장착되어 있습니다. TENCOR ALPHASTEP 500은 최대 8 인치 웨이퍼의 직경을 측정 할 수 있습니다. 하향식 및 측면식 통합 이미징 캡처 기능과 에지 감지 기능을 모두 제공합니다. 결함 서명 분석 (Defect Signature Analysis) 을 포함한 고급 신호 처리 (advanced signal processing) 기술은 제품의 웨이퍼 또는 모서리에 있는 결함을 정확하게 식별하는 데 사용됩니다. 단위는 재료의 임계 치수, 프로파일, 오버레이, 두께 등의 매개변수를 측정하는 데 사용됩니다. 자동화 및 소프트웨어 기능 측면에서, 이 시스템에는 두 가지 사용자 친화적 인 소프트웨어 (결함 이미지의 이미지 획득 및 분석을위한 Konano TM, 데이터의 획득, 분석 및 표시를위한 Sigma SuiteTM) 가 포함되어 있습니다. 또한 실시간 히스토그램, 실시간 프로세스 제어, 데이터 추세 분석, 맞춤형 보고서 생성, 일련 번호별 추적 기능 등을 제공합니다. Alpha Step 500은 동급 최고의 광학 성능을 갖추고 있으며 전체 스펙트럼 프로세스 기능, 고속 데이터 처리, 고해상도 수직 프로파일링 및 측정, 100nm 반복성, 빠른 Z 높이 조절성 등 다양한 고급 측정 기능을 제공합니다. 또한, 이 자산은 IS09000 및 ESD 표준에 따라 인증되어 모델 안정성 및 안전성을 향상시킵니다. 전체 KLA/TENCOR ALPHASTEP 500은 최첨단 하드웨어 및 소프트웨어 기능을 제공하는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 빠르고, 정확하고, 신뢰할 수있는 도량형 결과를 제공하여 다양한 반도체 프로세스 및 생산 응용 프로그램에 적합합니다.