판매용 중고 KLA / TENCOR Alpha Step 300 #9356929

KLA/TENCOR Alpha Step 300은 광 검사 및 도량형 요구에 대한 최대의 생산성을 제공하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 회사의 5 축 간섭 (interferometric) 기술을 기반으로하며, 이를 통해 사용자는 단일 패스 측정에서 치수 및 지형 표면 데이터를 모두 캡처하고 정량화 할 수 있습니다. 초당 최대 50 개의 로컬 포인트를 측정 할 수있는 KLA Alpha Step 300은 상세한 표면 측정을 위해 1nm 정확도와 반복 성을 제공합니다. 이 장치는 표면 지형 특성, 리소그래피 자격, 결함 평가 등 반도체 산업 내 응용 분야에 이상적입니다. 기계는 표면 평평, 거칠기 및 선 너비를 빠르게 측정 할 수 있습니다. TENCOR ALPHASTEP 300은 통합 레이저 및 최적화 된 광학 설계, 직관적인 사용자 인터페이스 및 강력한 PC 기반 아키텍처를 갖추고 있습니다. 이 도구는 Si, GaAs 및 실리콘 복합 재료를 포함한 최신 고급 기판을 처리 할 수 있습니다. KLA/TENCOR ALPHASTEP 300은 3D 매핑, 다중 카메라 구성, 자동 측정, 통합 품질 보증 자산 등 다양한 기능을 제공합니다. 이 모델은 또한 회로 회선, 범프 및 기타 마이크로 피쳐를 포함한 구조를 측정 할 수 있습니다. 클라이 알파 스텝 300 (KLA ALPHASTEP 300) 은 높은 정확성과 반복성으로 패턴 동심도, 크기와 같은 중요한 포토 마스크 기능을 안정적으로 측정합니다. 이 장비는 KLA 결함 및 오버레이 알고리즘과의 긴밀한 통합을 통해 최대의 프로세스 제어 및 반복성을 제공하도록 설계되었습니다. ALPHASTEP 300 (ALPHASTEP 300) 은 회사의 정교한 소프트웨어와 결합하여 반도체 제조업체가 생산량 및 품질 성능을 보장하도록 도와줍니다. 이 시스템은 Contura (tm) 및 Actura (tm) 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템과 같은 회사의 광범위한 도량형 솔루션과 완벽하게 호환됩니다. 알파 스텝 300 (Alpha Step 300) 의 직관적이고 사용하기 쉬운 인터페이스와 강력한 아키텍처는 웨이퍼 테스트 및 도량형 요구를 충족하는 업계 최고의 솔루션입니다. 이 기계는 고급 옵틱 (Optic) 및 통합 품질 보증 장치 (Quality Assurance Unit) 를 통해 탁월한 정확성과 반복성을 제공하므로 사용자가 웨이퍼 레벨 검사, 결함 검토, 기타 어플리케이션에 대해 매우 정확하고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다.