판매용 중고 KLA / TENCOR Alpha Step 300 #140855
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![KLA / TENCOR Alpha Step 300 사진 사용됨 KLA / TENCOR Alpha Step 300 판매용](https://cdn.caeonline.com/images/kla-tencor_alpha-step-300_499882.jpg)
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ID: 140855
빈티지: 1992
Profilometer
Scan length: ±10 mm
Scan speed: 2 to 250 µm/sec
Sampling rate: 50/sec Nominal
Vertical resolution
Switchable
Resolution:
6.5µm Vertical range: 1Å
150µm Vertical range: 25Å
Stylus programmable force range: 1.0-100 mg
Stylus programmable force resolution: 0.1 mg
X, Y Maximum travel: 210 mm
Maximum sample size: 254 x 254 mm
Full size computer keyboard for system control
Power supply: 115V, 4A, 1 Ph, 60 Hz
1992 vintage.
KLA/TENCOR Alpha Step 300 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 반도체 업계에서 반도체 칩의 성능과 품질을 테스트하는 데 사용되는 자동 측정 도구입니다. 단계 높이, 서피스 거칠기, 패턴, 선 너비, 종횡비와 같은 중요한 매개변수에 대한 정확하고 반복 가능한 측정을 제공합니다. 이 시스템은 간섭계 (interferometer) 를 사용하여 웨이퍼 프로파일을 측정 범위 (최대 300mm) 에 걸쳐 0.5 나노미터 (0.5 나노미터) 의 정확도에 기록합니다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '모양 의 아주 작은 변화 를 탐지 할 수 있는데, 이것 은 완제품 의 질 에 심각 한 영향 을 미칠 수 있다. 그렇다. KLA Alpha Step 300에는 정확한 위치 및 크기를 포함한 패턴의 정확한 측정을 위해 자동 패턴 인식이 있습니다. 온보드 광학 현미경은 운영자에게 웨이퍼 표면을 직접 볼 수있는 향상된 기능을 제공합니다. 또한, 자동화된 소프트웨어 툴을 통해 대용량 데이터를 측정하고 분석할 수 있으며, 정확도가 높습니다. 이 장치는 시간당 최대 200 개의 샘플을 측정할 수 있으며, 데이터 저장 (data storage) 및 보고 기능을 갖추고 있어 시간이 지남에 따라 성능을 쉽게 추적할 수 있습니다. TENCOR ALPHASTEP 300은 컴퓨터의 성능과 기능을 향상시키기 위해 다양한 (옵션) 구성 요소와 함께 제공됩니다. 고속, 대형 시야 선형 스캐너 (옵션) 는 처리량을 시간당 500 샘플로 증가시킵니다. 지능형 텔레센터링 (Telecentering) 도구는 자동으로 샘플을 광학 헤드로 조정하여 수동 설정을 제거하고 처리량을 향상시킵니다. 고유한 초음파 트랜스듀서 (Ultrasonic Transducer) 옵션을 사용하면 균등하게 간격이 있는 구조를 측정하고 다중 레벨 구조의 특성을 측정할 수 있습니다. ALPHASTEP 300 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산은 중요한 매개변수에 대한 정확하고 반복 가능한 측정을 제공하기 위해 설계된 자동 측정 도구입니다. 0.5 나노 미터 정확도로 시간당 수백 개의 샘플을 측정 할 수있는 기능으로, 사용, 견고하고, 신뢰할 수 있습니다. 옵션으로 제공되는 구성요소 (옵션) 는 모델의 성능과 성능을 더욱 향상시켜, 반도체 제조업체들이 자사 제품의 최고 수준의 품질 제어 (Quality Control) 및 성능을 보장하고자 하는 데 이상적입니다.
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