판매용 중고 KLA / TENCOR Alpha Step 250 #9377281

KLA/TENCOR Alpha Step 250은 반도체 장치 제조에 사용되는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 웨이퍼에서 박막 레이어의 전기적 (electrical) 및 물리적 (physical) 성능에 대한 정확한 실시간 측정을 제공하도록 설계되었습니다. 그것은 서브 미크론 스케일로 작동하는 최첨단 정밀 적외선 간섭계를 사용합니다. 이렇게 하면 두께 (thickness), 서피스 거칠기 (surface roughness), 프로파일 (profile), 재료 컴포지션 (material composition) 과 같은 웨이퍼의 물리적 특성을 측정할 때 극도로 정확해집니다. KLA Alpha Step 250은 표준 단일 점 구성, 3 차원 스캔을위한 3 축 구성 및 전체 5 축 구성의 3 가지 주요 구성으로 제공됩니다. 5축 구성은 서피스 토폴로지 (surface topology) 에서 재료 컴포지션 (material composition) 에 이르기까지 전체 측정 범위를 제공합니다. 이 구성을 통해 TENCOR Alpha Step 250을 사용하여 박막 프로세스 매개변수에 대한 포괄적 분석을 제공할 수 있습니다. Alpha Step 250은 고급 옵틱을 사용하여 웨이퍼의 물리적 속성을 측정합니다. 간섭계 (interferometer) 는 좁은 광선을 사용하여 웨이퍼 표면을 스캔합니다. 이 빛의 빔은 분할되어 표면에 다른 각도로 향합니다. 그런 다음 이들 각도 로부터의 반사 (reflections) 를 비교 하여 표면 특성 을 놀라울 정도 로 정확 하게 측정 한다. KLA/TENCOR Alpha Step 250은 또한 고급 알고리즘을 사용하여 반도체 장치의 전기 성능을 정확하게 측정합니다. 이러한 알고리즘은 웨이퍼 (wafer) 에 있는 레이어의 전류-전압 특성을 측정하는 데 사용됩니다. 즉, 데이터를 신속하게 캡처하고 실시간으로 분석하는 기능 (영문) 을 통해 장치의 성능이 더욱 향상됩니다. KLA Alpha Step 250에는 단순하고 직관적인 사용자 인터페이스가 있습니다. 이 사용자 인터페이스를 사용하면 시스템을 신속하게 설정하고 구성할 수 있습니다. 또한, 이 툴은 다른 도구 및 시스템 (예: 데이터 로거, 프로세스 제어 시스템) 과 통합됩니다. TENCOR Alpha Step 250은 전례없는 정확성과 성능을 제공하는 고급적이고 안정적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산입니다. 반도체 (반도체) 소자 업계에서 고품질· 일관성 있는 제품 생산량을 보장하는 강력한 도구다.