판매용 중고 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #9289904

KLA/TENCOR Alpha Step 200은 나노 스케일의 웨이퍼 및 장치 구조의 특성을 특성화하기 위해 특별히 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 주사 전자 현미경 (SEM), 원자 힘 현미경 (AFM) 및 표면 프로파일 측정 기술의 조합을 사용하여 작동합니다. 이 장치는 안정적이고 일관된 화질을 제공하는 견고한 디자인의 고해상도 흑백 이미징 머신 (High Resolution Monochrome Imaging Machine) 을 갖추고 있습니다. 이미징 도구에는 60kV 2 차 전자 검출기와 광학 SIM, SEM 및 SEM/AFM과 같은 광범위한 이미징 모드가 포함됩니다. 탁월한 감도, 뛰어난 공간 해상도, 빠른 수동 다중 채널 (passive multichannel) X 선 스펙트럼 컬렉션을 제공하는 고효율 EDS 검출기를 사용하여 웨이퍼 구성을 분석합니다. 에셋은 자동화되고 사용자 정의 (user-defined) 의 샘플 내비게이션 모델을 제공하여 웨이퍼를 신속하고 비접촉 이미징할 수 있습니다. 또한 사용자 개입 없이 정확하고 반복 가능한 이미징을 가능하게 하는 고속, 다중 축 자동 초점 (multi-axis auto-focus) 장비를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 다양한 유형의 측정에 대해 이미징 매개변수를 자동으로 선택할 수 있으며 KLA 스펙트럼 (KLA Spectra) 및 극성 웨이퍼 분석기와 완전히 통합 할 수 있습니다. KLA ALPHASTEP 200은 웨이퍼 특성을 개선하기 위해 설계된 여러 가지 다른 기능을 제공합니다. 자동 웨이퍼 분석 (automated wafer analysis) 뿐만 아니라 측정의 정확성을 향상시킬 수있는 하부 나노 미터 파라 메트릭 데이터 처리 장치를 제공합니다. 이 기계는 또한 스펙트럼 획득, 저장 및 시각화를 최적화 할 수 있습니다. 또한, 이 도구에는 데이터를 분석하고, 반복성을 결정하며, 다른 시스템과 신속하게 결과를 공유할 수 있도록 하는 프로세서, 소프트웨어 패키지가 포함되어 있습니다. TENCOR ALPHA-STEP 200은 SEMI, PIES 및 Imec과 같은 업계 표준을 준수하므로 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 강력한 디자인과 고급 기능을 갖춘 이 자산은 나노스케일 (Nanoscale) 특성을 위한 강력하고 강력한 솔루션을 제공합니다.