판매용 중고 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #9253861

KLA/TENCOR Alpha Step 200은 비 접촉 표면 및 도량형 분석을 위해 설계된 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 자동 웨이퍼 처리 장치, AFM (Atomic Force Microscopy) 모듈, 광 모듈 및 소프트웨어로 작동합니다. 자동 웨이퍼 처리 장치 (Automated Wafer Handling Machine) 는 최대 200mm 직경의 웨이퍼를 처리하도록 설계되었으며 로봇 암 메커니즘과 자동 초점 도구를 사용합니다. 이것은 광범위한 웨이퍼 크기와 재료에 적합합니다. AFM 모듈은 웨이퍼의 표면 분석 및 3D 이미징 및 매핑에 사용됩니다. 그것은 통합 현미경과 컨트롤러가있는 모터 구동 인 2 축 단계로 구성됩니다. 이 모듈은 높은 해상도와 정확도로 정밀 표면 측정을 가능하게 합니다. 광 모듈은 접촉 (Contact) 및 비접촉 (Non-Contact) 표면 분석을 위해 설계되었으며, 그 안에 고해상도 이미징 자산이 통합되어 있습니다. 두께, 표면 거칠기 및 석영 결정 미생물 (quartz crystal microbalance) 과 같은 다양한 도량형 매개변수를 측정하는 기능이 있습니다. 이 모델은 또한 confocal microscopy 및 darkfield microscopy와 같은 분석 및 광학 측정 기술을 수행 할 수 있습니다. 장비와 관련된 소프트웨어를 사용하면 강력한 이미지 분석, 보고, 데이터베이스 기능에 액세스할 수 있습니다. 다양한 응용 프로그램 및 사용에 적합한 여러 측정 모드를 제공합니다. 해상도, 샘플링 영역, 속도, 대비 옵션 등의 소프트웨어 매개 변수를 선택할 수 있으므로 이 시스템은 매우 다양합니다. KLA ALPHASTEP 200은 모두 신뢰할 수 있고 정확한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장치를 제공합니다. 자동 웨이퍼 처리 (automated wafer handling), AFM 모듈, 광 모듈 및 강력한 소프트웨어의 조합으로 표면 분석, 3D 이미징, 화학적 특성, 필름 측정 등 다양한 테스트를 수행할 수 있습니다. 이 기계는 연구 및 산업 수준의 응용에 적합하며, 정확한 웨이퍼 도량형 (wafer metrology) 을 수행하려는 모든 실험실에 적합한 선택입니다.