판매용 중고 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #9208490

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ID: 9208490
Profilometer.
KLA/TENCOR Alpha Step 200은 반도체 웨이퍼에 대한 정확한 실시간 표면 분석을 제공하기 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 클라알파 스텝 200 (KLA ALPHASTEP 200) 은 나노 미터 수준까지 높은 해상도로 웨이퍼의 모양과 표면 품질을 모두 측정 할 수 있습니다. 이 시스템에는 다중 방향 스캐닝 헤드 (multi-directional scanning head), 3D 광학 프로파일로미터 (3D optical profilometer) 및 나노 미터 레벨 표면 변형 측정을위한 비전 도량형 장치 (vision metrology unit) 를 포함한 다른 테스트 시스템과는 다른 몇 가지 기능이 있습니다. TENCOR ALPHA-STEP 200 다방향 스캐닝 헤드는 여러 방향에서 서피스 피쳐를 측정하여 웨이퍼 모양과 서피스 텍스처에 대한 포괄적인 정보를 제공합니다. 이것은 3D 광학 프로파일로미터로 보완되며, 이는 표면 프로파일 측정을 높은 정확도로 제공 할 수 있습니다. 시력 도량형 기계는 나노 미터 수준의 표면 변형 측정을 제공하며, 이를 통해 생산 과정에 대한 전례없는 통찰력을 얻을 수 있습니다. KLA Alpha Step 200 의 고급 소프트웨어 (Advanced Software) 는 맞춤형 데이터를 다양한 형식으로 제공할 수 있도록 자동으로 분석 및 보고 기능을 제공합니다. 이를 통해 엔지니어는 신속하고 손쉽게 결과를 검토하고, 프로세스의 오류 또는 불일치를 파악하고, 시정 (corrective) 조치를 취할 수 있습니다. ALPHA-STEP 200 (ALPHA-STEP 200) 도 실시간으로 측정할 수 있으므로 엔지니어가 운영 프로세스를 모니터링할 수 있습니다. 이는 운영 프로세스의 결함을 방지하는 데 유용하며, 엔지니어가 주요 문제가 되기 전에 모든 문제를 파악하고 수정할 수 있게 해 줍니다 (영문). 안정적이고 반복 가능한 결과를 얻기 위해 TENCOR ALPHASTEP 200은 자동 교정 루틴을 사용하여 공구의 정확성과 안정성을 유지합니다. 자산은 또한 다양한 주변 장치, 기타 테스트/측정 장비와 호환됩니다. KLA ALPHA-STEP 200에서 수집한 모든 데이터는 안전하게 저장되어 향후 검토 및 분석이 가능합니다. 전반적으로, TENCOR Alpha Step 200은 높은 정확도로 세부 정보를 제공 할 수있는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델입니다. '운영 프로세스 검사 (Production Process Inspection)' 부터 '결함 감지 (Defect Detection)' 등 다양한 애플리케이션에 사용할 수 있게 해 주는 정교한 기능과 자동화된 데이터 분석 옵션입니다.
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