판매용 중고 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #9171312

KLA / TENCOR Alpha Step 200
ID: 9171312
Profilometer.
KLA/TENCOR Alpha Step 200은 비접촉, 비파괴 광학 포인트 투 포인트 매핑을 사용하여 반도체 웨이퍼의 치수 및 기타 물리적 특성을 측정하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 추적 가능한 치수 데이터에 대해 시간당 최대 40 개의 웨이퍼를 검사 할 수 있습니다. 웨이퍼 검사 (Wafer Inspection) 에 대한 업계 표준을 충족하거나 초과하여 기능을 3 나노미터까지 정량화하는 데 필요한 매우 높은 정확도와 고해상도 밀도 데이터를 제공합니다. KLA ALPHASTEP 200은 4 채널, 더블 빔 광학 시스템을 사용하여 웨이퍼에서 최대 4 개의 다른 지점에서 이미지를 얻습니다. 이 장치의 스테이지 크기는 20 마이크로 미터 (20 micrometer) 로 최대 200mm 크기의 웨이퍼에 대한 테스트 측정이 가능합니다. 0.5 ~ 100 마이크로미터에서 스텝 높이를 측정 할 수있는 수직 조절 가능한 상하 카메라가 있습니다. 또한, 단순하고 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 가 장착되어 있어 시스템 작동이 훨씬 쉬워집니다. 이 도구에는 다른 시스템에 비해 소음이 매우 적은 안정적인 결과를 제공하는 고급 (Advanced) 알고리즘도 포함되어 있습니다. 또한 스펙트럼 분석 (spectral analysis) 및 서피스 분석 (surface analysis) 과 같은 여러 데이터 분석 도구를 사용하여 웨이퍼를 심층적으로 분석 할 수 있습니다. 자산은 다른 타사 소프트웨어 시스템과 상호 작용하여 보다 복잡한 테스트/분석을 가능하게 할 수도 있습니다. TENCOR ALPHA-STEP 200 (TENCOR ALPHA-STEP 200) 은 반도체 웨이퍼의 중요한 특성에 대한 자세한 데이터를 제공 할 수있는 매우 신뢰할 수있는 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델입니다. 정확성과 정확성으로 인해 중요한 측정에 이상적인 선택입니다. 이 장비는 광학 (optics) 과 알고리즘 (algorithm) 의 최신 발전을 활용하여 반도체 제품의 효율적이고 비용 효율적인 생산에 필수적인 정확한 데이터를 제공할 수 있다.
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