판매용 중고 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #9012731

ID: 9012731
Surface profiler Model number: 10-02000 Programmable X-Y stage Video monitor, 9" Motorized and manual stage (3) Operating modes: Manual Semiautomatic Automatic Scanning stylus: 12.5 Micron radius Zoom video microscope: 40x to 120x Magnification Vertical resolution: 5 Angstrom (With ±160 k angstrom range, 5 nm with ±160 micro-meter range) Vertical sensitivity: Measures even smallest steps, 20 to 50 angstrom Horizontal resolution: 400 Angstrom Tracking force: User adjustable, 1 to 25 mg Maximum sample dimensions: 16.5 mm thickness, 162 mm diameter Power requirements: 90-130 VAC, 50/60 Hz, 120 VA max.
KLA/TENCOR Alpha Step 200은 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 반도체 웨이퍼의 중요한 매개변수를 측정하고 분석하기 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 독점 광학 명암기 (optical contrast technique) 를 사용하여 다양한 기판 및 코팅으로 샘플을 검사할 수 있습니다. KLA ALPHASTEP 200은 반도체 웨이퍼 표면의 다양한 지형 특징을 분석하기위한 비 파괴 방법을 제공합니다. 서피스 프로파일, 서피스 텍스처, 에치 피트 밀도, 임계 치수, 서피스 플랫 및 광학 텍스처를 측정 할 수 있습니다. 고속 라인 스캔 이미지 처리 장치 (High Speed Line Scan Image Processing Unit) 는 웨이퍼 서피스에서 결함을 감지하고 찾는 데 사용됩니다. 수동 (manual) 또는 자동 (automated) 모드에서 고밀도 (high precision) 로 웨이퍼를 측정하여 표면을 안정적이고 반복적으로 분석 할 수 있습니다. TENCOR ALPHA-STEP 200에는 고급 자동 측정 및 분석 소프트웨어가 포함되어 있으며, 자세한 결과 보고서를 제공합니다. 이 소프트웨어는 데이터를 분석하고 전체 샘플의 결과와 통계 분석 (statistical analysis) 을 그래픽으로 표현할 수 있습니다. 컴퓨터는 매우 유연하며, 각 측정의 성능과 매개변수를 사용자 정의할 수 있습니다. 모듈식 설계를 통해 기존 운영 환경이나 실험실 환경에 손쉽게 설치, 통합할 수 있습니다. TENCOR ALPHASTEP 200은 또한 처리량이 높아 일반적인 8 시간 교대로 200 개의 웨이퍼를 테스트 할 수 있습니다. TENCOR Alpha Step 200 (Alpha Step 200) 은 엄격한 업계 표준을 충족하여 광범위한 복잡한 애플리케이션을 위한 정확하고, 반복 가능하며, 안정적인 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 이 도구는 뛰어난 정밀도, 높은 정확도 및 낮은 소음 수준을 제공합니다. 이 자산은 실험실, 생산, 연구, 개발 및 교육 목적으로 설계되었습니다. 요약하면, KLA/TENCOR ALPHA-STEP 200은 강력하고 다목적 인 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델로, 광범위한 기판 및 코팅을 매우 정확하고 안정적으로 측정하도록 설계되었습니다. 이 장비는 구성 능력이 뛰어나 특정 요구 사항에 맞게 성능 및 매개변수를 사용자 정의할 수 있습니다 (영문). 이 시스템에는 고급 자동 측정 및 분석 (automated measurement and analysis) 소프트웨어도 포함되어 세부적이고 정확한 결과를 제공합니다. 클라이 알파-스텝 200 (KLA ALPHA-STEP 200) 은 엄격한 업계 표준을 충족시켜 반복 가능하고 안정적인 결과를 제공하도록 설계되었습니다.
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