판매용 중고 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #82924

KLA/TENCOR Alpha Step 200은 반도체 제작 및 검사에 사용하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 시스템은 다이 스테퍼, 통합 카메라 및 광도 단위, CCD 이미징 장치로 구성됩니다. KLA ALPHASTEP 200은 높은 정확도와 반복성으로 여러 해상도에서 샘플의 비 접촉 스텝 앤 스캔 (step-and-scan) 표면 도량형 맵을 만들 수 있습니다. 6mm x 6mm 이상의 영역을 이미징 할 수 있습니다. 다이 스테퍼 (die stepper) 는 전동식 XYZ 단계를 사용하여 기계 내에서 샘플의 정확한 위치를 지정하는 반면, 통합 카메라 (integrated camera) 와 광도 (photometric) 도구를 사용하면 샘플 표면을 시각화할 수 있습니다. CCD 이미징 (CCD Imaging) 장치는 샘플의 다양한 이미지를 얻기 위해 사용되며, 샘플 표면의 매우 정확한 맵을 생성합니다. 그런 다음 이러한 이미지는 단계 높이 (step height), 각도 (angle), 거리 (distance) 및 기타 다양한 매개변수와 같은 피쳐를 측정하는 데 사용됩니다. 자산에는 자동 표면 도량형 측정이 가능하도록 여러 가지 프로브 (probe) 와 액세서리 (accessory) 가 장착되어 있습니다. TENCOR ALPHA-STEP 200은 단일 지점, 고해상도, 대용량 스캔 등 다양한 스캔 및 매핑 옵션을 제공합니다. 이 모델은 또한 타사 소프트웨어와의 원활한 통합을 통해 다른 플랫폼/시스템과의 호환성을 보장합니다. TENCOR ALPHASTEP 200 장비는 반도체 제작 및 검사 프로세스에 사용하도록 설계되었으며, 처리량이 높은 샘플을 반복 가능하고 정밀하게 측정할 수 있습니다. 이 시스템은 작동이 용이하며, 단일 스캔을 통해 다양한 기능을 찾아서 매핑하는 데 있어 유연성과 정확성을 제공합니다 (영문). 또한, 이 장치는 포함된 운영 환경에서 특정 요구 사항을 충족하도록 지원합니다.