판매용 중고 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293817499
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KLA/TENCOR Alpha Step 200은 장치 제작의 효율성 및 생산성을 향상시키기 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 총 커패시턴스 (total capacitance), 고장 전압 (breakdown voltage), 유전체 상수 (dielectric constant) 및 저항성 (resistivity) 과 같은 전기 특성을 포함하여 웨이퍼 샘플을 구축하고 테스트하는 데 필요한 측정의 완전한 범위를 제공하도록 설계되었습니다. 또한 유전체 두께, 표면 지형 및 게이트 산화물 두께의 통합 된 특성을 제공합니다. 이 장치는 기본 단위로 구성되며, 이 단위에는 SEM (Advanced Optical and Scanning Electron Microscope) 기능과 통합 데이터 분석 도구가 포함되어 있습니다. KLA ALPHASTEP 200은 접촉하지 않고, 파괴적이지 않은 광학 표면 특성을 사용하여 유전체 두께, 표면 지형 및 웨이퍼의 게이트 산화물 두께를 손상 없이 측정 할 수 있습니다. 강력한 이미지 분석, 측정 기능과 함께 정교한 SEM 기능을 통해, 신속하게 결함을 파악하고 특성화할 수 있습니다. 이 기계에는 자동 웨이퍼 도량형 및 웨이퍼 프로브와 같은 고급 자동화 기능도 포함되어 있습니다. 여러 개의 Probe 카드를 사용할 수 있으며, 자동 작업 시퀀싱 (Automatic Task Sequencing) 기능은 수동 프로그래밍이 필요 없으며 운영자 간 변형을 제거합니다. TENCOR ALPHA-STEP 200은 특별한 사전 계획 및 사후 처리 기능으로 사용자 정의 할 수도 있습니다. 이것 은 여러 가지 "파라미터 '로" 웨이퍼' 를 정확 하게 측정 하는 고급 특성 기법 과 더불어 사용 할 수 있는, 종합 한 "측정 유형 '으로 설계 되었다. 이 툴은 전체 소프트웨어 구성 요소로 설계되어 웨이퍼 (wafer) 측정, 분석, 보고 기능을 제공합니다. 자동 Wafer 매핑, 패턴 인식, 데이터 관리 기능을 통해 효율적이고 정확한 Wafer 분석을 수행할 수 있습니다. 또한, ALPHA-STEP 200은 다른 KLA 제품 및 프로세스와 통합되어 처음부터 끝까지 완전한 특성화 솔루션을 제공 할 수있는 전체 자산을 만들 수 있습니다. 결론적으로 KLA ALPHA-STEP 200은 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 강력하고 효율적인 모델입니다. 전기, 광학, 스캐닝 (Scanning) 전자 미세 특성을 포함하여 장치 제조에 필요한 측정을 완벽하게 제공합니다. 자동 웨이퍼 도량형 및 웨이퍼 프로브 기능을 통해 KLA/TENCOR ALPHA-STEP 200은 고수율 웨이퍼 생산에 이상적인 솔루션입니다. 또한 강력한 소프트웨어 툴을 통해 효율적인 웨이퍼 분석, 데이터 관리 및 보고 기능을 활용할 수 있습니다.
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