판매용 중고 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293792665

ID: 293792665
Surface profiler Step height standard ranges: 17.48 KÅ 1.38 µm VLSI Step height standard ranges: 17.46 KÅ 1.735 µm Trace range: 10,000 µm Stylus arm Drive belt LVDT Memory Speed control CPU Boards Linear bearings with tri-flow oil PC.
KLA/TENCOR Alpha Step 200은 웨이퍼 표면의 프로파일, 평평 및 스텝 높이를 측정하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 초점 이미징 (confocal imaging) 과 레이저 삼각 측량 (laser triangulation) 기술을 활용하여 웨이퍼의 프로파일과 높이를 매우 정확하게 측정합니다. 이 시스템의 레이저 (Laser) 는 최대 200äm의 스텝 기능을 가지고 있으며, 미세한 표면 특징과 작은 스텝 높이를 정확하게 측정 할 수 있습니다. 클라이 알파 스텝 200 (KLA ALPHASTEP 200) 은 전동식 선형 스테퍼로 Z축을 따라 웨이퍼를 움직이며 레이저를 웨이퍼 표면의 평면으로의 정밀 이동을 보장합니다. "레이저 '의 위치 를 표면 에 대하여 측정 함 으로써, 장치 는" 웨이퍼' 의 앞 면 과 뒤 면 의 "프로파일 '을 지도 할 수 있다. 또한, 웨이퍼 전체에 걸친 두께와 평평함, 그리고 여러 다이 (die) 에 걸친 변화를 측정 할 수 있습니다. 또한 TENCOR ALPHA-STEP 200에는 특허를받은 편광 기능이 포함되어 있어 웨이퍼의 양면을 동시에 측정 할 수 있습니다. 이렇게 하면 처리량이 증가하고 시스템의 정확도가 향상됩니다. 또한, 이 도구에는 고급 패턴 인식 (Advanced Pattern Recognition) 및 수리 알고리즘이 포함되어 있어 어려운 재료의 정확한 측정을 보장합니다. ALPHASTEP 200에는 사용자 친화적 인 터치 스크린 인터페이스 (touchscreen interface) 가 있어 테스트 매개변수를 빠르고 쉽게 설정하고 테스트 프로세스를 모니터링할 수 있습니다. 또한 KLA METboard Software 와 호환되므로 테스트, 데이터 저장, 보고서 생성 등의 결과를 시각적으로 파악할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 테스트 결과를 신속하게 해석하고 분석 할 수 있습니다. 전반적으로 KLA/TENCOR ALPHA-STEP 200은 신뢰할 수 있고 정확한 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산입니다. 빠른 레이저 스텝 (step) 및 패턴 인식 (pattern recognition) 기능을 사용자 친화적 인터페이스 및 고급 소프트웨어와 결합하여 반도체 웨이퍼의 프로파일, 평면도, 스텝 높이를 측정하는 데 이상적인 도구입니다.
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