판매용 중고 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293767507
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KLA/TENCOR Alpha Step 200은 반도체 업계에서 생산용으로 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 정확한 웨이퍼 레벨 분석을 위해 광학, 전기, 음향 측정의 통합을 활용하여 웨이퍼 (wafer) 및 패턴 (patterned) 레이어의 특성을 고려하여 설계되었습니다. 이 시스템은 자동화된 테스트, 분석, 보고 기능을 결합하여 정확하고 안정적인 결과를 제공합니다. KLA ALPHASTEP 200은 패턴화 된 표면 (예: 웨이퍼, 마스크 레이어) 의 지형을 빠른 속도로, 높은 정확도로 측정하는 데 사용되는 비 접촉 광학 스타일러스 장치입니다. 이 기계는 흰색 광학 스타일러스 (white light based optical stylus) 를 사용하며, 이는 웨이퍼에서 가장 작은 기능의 정확한 높이 변화를 측정 할 수 있습니다. 이 기능은 공구 내에서 사용할 수 있는 다양한 광원 (light source) 및 포커스 (focus) 피쳐를 통해 활성화됩니다. 또한 강력한 구매 자산 (Acquision Asset) 을 통해 여러 레이어의 웨이퍼를 동시에 빠르고 효율적으로 측정할 수 있습니다. TENCOR ALPHA-STEP 200은 대화식이며 사용하기 쉬운 이미지 분석 및 도량형 인터페이스를 제공합니다. 사용자는 소프트웨어를 통해 프로브 높이 (Probing Heights), 매개변수 (Parameters) 를 정의하고 그래픽 인터페이스를 통해 결과를 볼 수 있습니다. 직관적인 그래픽 인터페이스를 사용하면 서피스의 3D 프로파일과 측정 결과를 다양한 각도로 볼 수 있습니다 (영문). 이 소프트웨어는 맵 생성, 임계 처리, 에지 감지 (edge detection) 와 같은 다양한 분석 도구를 제공하여보다 정확하게 분석할 수 있습니다. 이 모델은 자동 피쳐 식별 및 결함 검사를위한 고급 패턴 인식 (Advanced Pattern Recognition) 기술도 지원합니다. TENCOR ALPHASTEP 200의 강력한 설계를 통해 사용자는 다양한 조리개 중에서 선택하여 해상도를 향상시킬 수 있습니다. 또한 임계 치수 및 광학 측정에 대한 측정 정확도를 높이기 위해 다양한 고성능 광학 렌즈 (optical lenses) 가 있습니다. 이 장비는 또한 스프레이 챔버 (spray chamber), 관절 암 (articulating arms), 자동 웨이퍼 처리 (automated wafer handling) 와 같은 추가 액세서리를 지원하여 측정 프로세스를 완전히 자동화합니다. 전반적으로 ALPHASTEP 200은 강력한 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템으로 정확성과 정확도를 갖춘 미생물 패턴 레이어의 자동 측정, 분석, 보고 기능을 제공합니다. 종합적인 기능 세트와 직관적인 그래픽 인터페이스 (Graphical Interface) 는 반도체 업계의 생산 테스트에 이상적인 선택입니다.
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